Program for Mikrosystemtechnik Kongress 2017 [MST 2017]

Program for Mikrosystemtechnik Kongress 2017

Time	Plenum (Ballhausforum)	Alpsee	Ammersee 1	Ammersee 2	Chiemsee	Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)	Löwenbräukeller
Monday, October 23
18:00-19:30	Eröffnung
19:30-22:00						Get-together
Tuesday, October 24
08:30-09:00	Begrüßung
09:00-09:30	Keynote 1
09:30-10:00	Keynote 2
10:00-10:30						Kaffeepause
10:30-12:10		1.1: Consumer- und Industrieanwendungen	1.2: MEMS Simulation, Entwurfsmethodik	1.3: Industrie 4.0	1.4: Mikro-Nano-Integration
12:15-13:15						Mittagspause
13:20-14:40		2.1: RF-MEMS	2.2: Optische MEMS	2.3: Mikroaktorik I	2.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme I
14:40-16:10						P1: Additive Fertigung, P10: Schaltungen, P11: Sensorik für physikalische Größen 1, P2: Anwendung Klima & Umwelt, P3: Anwendung Medizin & Bio, P4: Aufbau- und Verbindungtechnik 1, P5: Energy Harvesting und Power Management, P6: Messtechnik, P7: Mikroaktorik 1, P8: Mikrofluidik 1, P9: Mikro-Nano-Integration 1
16:10-17:50		3.1: Medizinische Anwendungen	3.2: Bio und Chemische Sensorik	3.3.: Mikroaktorik II	3.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme II
19:30-22:30							Abendveranstaltung
Wednesday, October 25
08:45-09:00	Begrüßung
09:15-09:30	Keynote 1
09:30-09:45	Keynote 2
09:45-10:20	Preisverleihung
10:20-10:50						Kaffeepause
10:50-12:10		4.1: Mikrofluidik I	4.2: Sensorik für physikalische Größen	4.3: Systemintegration	4.4: Industrie invited
12:10-13:00						Mittagessen
13:00-14:30						P12: Aufbau- und Verbindungtechnik 2, P13: Bio und Chemische Sensorik, P14: Materialien und Technologien, P15: Mikroaktorik 2, P16: Mikrofluidik 2, P17: Mikro-Nano-Integration 2, P18: Optische MEMS, P19: Sensorik für physikalische Größen 2
14:30-16:10		5.1: Mikrofluidik II	5.2: Materialien und Technologien	5.3: Aufbau- und Verbindungstechnik	5.4: Low Power und Energy Harvesting

Montag, 23. Oktober

Montag, 23. Oktober 18:00 - 19:30

Eröffnung

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Montag, 23. Oktober 19:30 - 22:00

Get-together

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Dienstag, 24. Oktober

Dienstag, 24. Oktober 8:30 - 9:00

Begrüßung

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Dienstag, 24. Oktober 9:00 - 9:30

Keynote 1

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Dienstag, 24. Oktober 9:30 - 10:00

Keynote 2

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Dienstag, 24. Oktober 10:00 - 10:30

Kaffeepause

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Dienstag, 24. Oktober 10:30 - 12:10

1.1: Consumer- und Industrieanwendungen

Raum: Alpsee

Chairs: Volker Saile (KIT, Germany), André Kretschmann (Robert Bosch GmbH, Germany)

10:30 Modellierung eines neuartigen Kamm-Mikrofons mit hohem Signal-Rausch-Verhältnis: Johannes Manz and Gabriele Schrag (Technische Universität München, Germany); Alfons Dehe (Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e. V., Germany); Ulrich Krumbein (Infineon Technologies AG, Germany); Gerhard Wachutka (Technische Universität München, Germany)
10:50 Passiver Schock-Maximalwertsensor: Karin Wedrich (Technische Universität Ilmenau, Germany); Hannes Mehner (X-FAB MEMS Foundry GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
11:10 Messung und Berechnung der Temperaturhysterese von Flip-Chip MEMS-Mikrofonen: Hanna Ebbinghaus (Hochschule für angewandte Wissenschaften München, Germany); Ai Ping Chew (Hochschule München, Germany); Gregor Feiertag (Hochschule München & EPCOS AG, Germany); Sebastian Walser (EPCOS AG ein Unternehmen der TDK Gruppe, Germany)
11:30 Magnetoresistive Sensoren für die nächste Robotergeneration: Rolf Slatter and Rene Buß (Sensitec GmbH, Germany)
11:50 Miniaturisierte Beleuchtungsoptiken für Mobilgeräte: Ulrich Streppel (OSRAM Opto Semiconductors GmbH, Germany); Simon Thiele and Harald Giessen (Universität Stuttgart, Germany)

1.2: MEMS Simulation, Entwurfsmethodik

Raum: Ammersee 1

Chairs: Roland Thewes (Technische Universität Berlin, Germany), Dennis Hohlfeld (Universität Rostock, Germany)

10:30 Layout vs. Schematic Check für integrierte elektronisch-photonische Schaltkreise in photonischer BiCMOS-Technologie: Stefan Simon, Georg Winzer, Iria Garcia Lopez, Pedro Rito, Despoina Petousi, Lars Zimmermann and Thomas Mausolf (IHP, Germany)
10:50 Multiphysics and Multiscale Simulation for the Design of Microstructured Materials and Miniaturized Active Devices: Karin Bauer (Universität des Saarlandes, Germany); Christian Karch (Airbus Group Innovations, Germany)
11:10 Effizienter fluidischer Transport mittels mikromechanischer Aktoren: Numerische Herausforderungen beim Entwurf: Matthias Gehring, Gabriele Schrag and Gerhard Wachutka (Technische Universität München, Germany)
11:30 CFD Berechnung der fluidischen Dämpfung von flexiblen Strukturen basierend auf modaler Projektion: Markus Freitag, Sebastian Voigt and Jan Mehner (Technische Universität Chemnitz, Germany)
11:50 Mikromechanisches 3D-Lorentzkraftmagnetometer mit neuartigem multiaxialem Betriebsprinzip und ultra-low-power Ausleseverfahren: Helena Biegler (Hahn-Schickard, Germany); Daniel Krawat (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Matthias Dienger, Jan Rockstroh and Martin Trächtler (Hahn-Schickard, Germany); Yiannos Manoli (Hahn-Schickard & IMTEK University of Freiburg, Germany); Alfons Dehe (Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e. V., Germany)

1.3: Industrie 4.0

Raum: Ammersee 2

Chairs: Hubert Steigerwald (Strategische Partnerschaft Sensorik e. V., Germany), Gerald Gerlach (Technische Universität Dresden, Germany)

10:30 Digital Twins an der Schnittstelle zwischen Produktion, Produkt und Technologie: Klaus Funk (Zentrum Digitalisierung. Bayern, Germany); Gunther Reinhart (Technische Universität München, Germany)
10:50 Pragmatische Industrie 4.0 Lösungen für die Produktion im Mittelstand - BMBF-Projekt ScaleIT: Maziar Afshar and Christine Neuy (microTEC Südwest e. V., Germany)
11:10 Interface Guided Innovation - strukturierte Generierung von Innovationen für Industrie 4.0 Anwendungen: Ulf Stocker and Volker Lippitz (INVENSITY GmbH, Germany)
11:30 Zuverlässigkeitsauslegung eines piezoelektrischen Energy Harvesters: Olaf Wittler, Ole Hölck and Stephan Benecke (Fraunhofer IZM, Germany); Tom Dobs (Fraunhofer IZM & Technische Universität Berlin, Germany); Marius van Dijk (Fraunhofer IZM, Germany); Jürgen Keller and Marcus Schulz (AMIC GMBH Berlin, Germany); Volker Bader and Tanja Braun (Fraunhofer IZM, Germany); Klaus-Dieter Lang (Technische Universität Berlin, Germany)
11:50 Condition Monitoring binärer Lösungen mit elektrostatischen Mikrosensoren: Hendrik Thiedke, Thomas Geiling, Boris Goj and Lars Dittrich (FIVEmicrons GmbH, Germany)

1.4: Mikro-Nano-Integration

Raum: Chiemsee

Chairs: Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany), Manfred Kohl (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)

10:30 A side-wall spacer process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes: Christian Walk and Michael Görtz (Fraunhofer IMS, Germany); Wilfried Mokwa (RWTH Aachen, Germany); Holger Vogt (Fraunhofer IMS & EBS Universität Duisburg Essen, Germany)
10:50 Additive Fertigung für Brennstoffzellen und Elektrolyse: Severin Vierrath, Matthias Breitwieser and Melanie Bühler (Hahn-Schickard, Germany); Carolin Klose (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Roland Zengerle (Hahn-Schickard Gesellschaft); Simon Thiele (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
11:10 3D Optical Microresonators: Laser-Assisted Fabrication and Packaging: Vanessa Zamora, Jonas Herter, Christian Janeczka and Henning Schröder (Fraunhofer IZM, Germany)
11:30 MEMS Feldionisation-Gassensor auf Basis von Palladium-Nanostrukturen: Lutz Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany); Hannes Mehner (X-FAB MEMS Foundry GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
11:50 Integriert-optische Schaltnetze und Wellenlängenmultiplexer für energieeffiziente Kommunikationsnetze on-Chip: Timo Lipka and Hoc Khiem Trieu (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany)

Dienstag, 24. Oktober 12:15 - 13:15

Mittagspause

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Dienstag, 24. Oktober 13:20 - 14:40

2.1: RF-MEMS

Raum: Alpsee

Chairs: Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany), Andreas H. Foitzik (TFH Wildau, Germany)

13:20 BiCMOS Embedded RF-MEMS Technologies: Selin Tolunay Wipf, Alexander Göritz, Matthias Wietstruck and Christian Wipf (IHP, Germany); Mehmet Kaynak (IHP, Germany & Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Turkey)
13:40 Aktive Q-Faktor Regelung von piezoelektrischen MEMS Cantilevern für High Speed AFM Anwendungen in Vakuum: Martin Fischeneder, Martin Oposich, Michael Schneider and Ulrich Schmid (Technische Universität Wien, Österreich, Austria)
14:00 Prozesskontrolle für die Dünnschichtverkapselung von BiCMOS HF-MEMS-Schaltern mittels BEOL-integriertem Pirani-Element: Alexander Göritz, Selin Tolunay Wipf and Matthias Wietstruck (IHP, Germany); Mehmet Kaynak (IHP, Germany & Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Turkey); Andreas Mai (IHP, Germany)
14:20 Millimeterwellen-Sensorsystem zur Messung der Sauerstoffkonzentration in Gasen: Julia Wecker (Technische Universität Chemnitz, Germany); Steffen Kurth, Marco Meinig and Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany); Andreas Bauch and Robert Weigel (Friedrich-Alexander Universität Erlangen-Nürnberg, Germany); Dietmar Kissinger (Ulm University, Germany); Angelika Hackner and Ulrich Prechtel (Airbus Group Innovations, Germany)

2.2: Optische MEMS

Raum: Ammersee 1

Chairs: Hubert Lakner (Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme, Germany), Jürgen Mohr (Karlsruhe Institute of Technology, Germany)

13:20 Waferlevel-Realisierung von Facetten zur Faser-zu-Chip Kopplung für eine photonische BiCMOS-Technologie: Christian Mai (IHP, Germany); Karsten Voigt (Technische Universität Berlin, Germany); Mirko Fraschke, Andreas Trusch, Stefan Lischke, Dieter Knoll, K. Schulz and Philipp Kulse (IHP, Germany); Lars Zimmermann (IHP & Technische Universität Berlin, Germany)
13:40 Steuerbare Ringblenden für segmentierte Besselstrahlen: Angelina Müller, Matthias C Wapler and Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
14:00 Leuchtdiodenchips mit dreidimensional epitaktisch gewachsenen kristallinen GaN Säulen: Robert Ławrowski and Sonja Deml (OTH Regensburg, Germany); Tansen Varghese, Tilman Schimpke, Adrian Avramescu and Martin Behringer (OSRAM GmbH, Germany); Rupert Schreiner (OTH Regensburg, Germany)
14:20 CMOS Bildsensor mit linearer hochdynamischer Pixelzelle mit Selbst-Reset und Pinned-Photodiode: Stefan Hirsch, Markus Strobel, Rainer Hainbucher, Jan Dirk Schulze Spüntrup and Wolfram Klingler (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)

2.3: Mikroaktorik I

Raum: Ammersee 2

Chairs: Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany), Ulrich Schmid (Technische Universität Wien, Austria)

13:20 Rotationsaktorik für durchstimmbare Mikroprismen durch die thermomechanische Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid Balken: Steffen Leopold (X-FAB MEMS Foundry GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
13:40 Customized micro mirror array for highly parallel industrial laser direct processing on the micro- and nanoscale: Jan-Uwe Schmidt, Peter Duerr and Michael Wagner (Fraunhofer IPMS, Germany)
14:00 Miniaturisierung von Mikromembranpumpen für die Integration in Mobilfunkgeräte: Martin Richter, Martin Wackerle, Yuecel Congar, Andreas Drost, Johannes Häfner, Siegfried Röhl, Sebastian Kibler, Jürgen Kruckow and Christoph Kutter (Fraunhofer EMFT, Germany)
14:20 Neuartiger piezoelektrischer Zwei-Wege-MEMS-Lautsprecher: Fabian Stoppel, Florian Niekiel, Thorsten Giese, Shanshan Gu-Stoppel, Christian Eisermann and Bernhard Wagner (Fraunhofer ISIT, Germany)

2.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme I

Raum: Chiemsee

Chairs: Andreas Berns (VDI/VDE Innovation+Technik GmbH, Germany), Anton Grabmaier (University of Duisburg-Essen, Germany)

13:20 Sessionüberblick/ Einführung - BMBF Förderung im Themenbereich sensorbasierte Elektroniksysteme für Industrie 4.0: Andreas Berns (VDI/VDE Innovation+Technik GmbH, Germany)
13:40 Sichere und interaktive Steuerung von Produktionsanlagen durch vernetzte Umfeldsensoren: Thilo Lenhard (InnoSenT GmbH, Germany)
14:00 Nahfeldlokalisierung von Systemen in Produktionslinien: Thomas Fritzsch (Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, Germany); Peter Gulden (Symeo GmbH, Germany)
14:20 Intelligente elektrische Steckverbinder und Anschlusstechnologien: Jan Stefan Michels (Weidmüller GmbH & Co. KG, Germany); Roland Mödinger and Fabian Kristmann (ERNI Production GmbH & Co. KG, Germany); Oliver Meier (Finke Elektronik GmbH, Germany); Christian Baar (Fraunhofer EMFT, Germany); Frank Ansorge (Fraunhoferr EMFT, Germany); Frank-Peter Schiefelbein and Christian Wegener (Siemens AG, Germany)

Dienstag, 24. Oktober 14:40 - 16:10

P1: Additive Fertigung

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Neue druckbare Polymere für die Mikrooptik: Kirsten Honnef (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Patrick Bollgruen (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg & Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Bestückung additiv gefertigter Mechatronic Interconnect Devices (MID) mittels Laserlöten: Thomas Meißner, Ebru Saller and Tobias Grözinger (Hahn-Schickard, Germany); Tobias Vieten (Universität Stuttgart, Germany); Hagen Müller and Wolfgang Eberhardt (Hahn-Schickard, Germany); André Zimmermann (Universität Stuttgart, Germany)
Entwicklung und Charakterisierung von Ink-Jet gedruckten optischen Streuschichten: Thomas Eiselt, Jan Preinfalk, Guillaume Gomard, Dennis Graf and Uli Lemmer (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Entwicklung hochgefüllter Filamente für die additive Fertigung von keramischen und metallischen Bauteilen: Dorit Nötzel (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Polymer-ceramic-composites for 3D inkjet printing: Dennis Graf (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Ana Bermejo and Luis Martinez (TECNAN, Tecnología Navarra de Nanoproductos S. L., Spain); Uwe Gleißner (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Christof Megnin and Thomas Eiselt (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Markus Mauck (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Galvanisch aus 3D Fotolack-Strukturen abgeformte metallische 3D-Freiformen: Frederico Lima (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg & Hochschule Furtwangen, Germany); Isman Khazi (Hochschule Furtwangen & Institut für Mikrosystemtechnik (iMST), Fakultät Mechanical & Medical Engineering, Germany); Alok Tungal and Ulrich M Mescheder (Hochschule Furtwangen, Germany)
Projekt RoMulus: Multi-Sensorische Anwendungen zur Zustandsüberwachung in industriellen Anwendungen: Eric Markweg and Jens Greiner (Tetra Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH, Germany); Thomas Kowallik (Tetra Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH)

P10: Schaltungen

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Magnetoinductive waves for wireless power transfer: challenges and solutions: Fralett Suárez Sandoval (University of Freiburg); Ali Moazenzadeh and Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
ASIC zur Ansteuerung und Signalerfassung eines CMUT: Marcus Pietzsch, Andreas Weder, Joerg Amelung, Andreas Heinig, Sandro G. Koch and Marco Kircher (Fraunhofer IPMS, Germany)
An integrated electronic circuit for decentralized monitoring of Lithium-ion battery cells: Fida Saidani, Franz X. Hutter and Wilhelm Selinger (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Stefan Rößler and Wolfgang Braunwarth (Zentrum für Sonnenenergie- und Wasserstoff-Forschung Baden-Württemberg, Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
Ein Aufwärtswandler mit 96,7% Effizienz und einem Ruhestrom von 460 nA für Energy Harvesting Anwendungen: Daniel Schillinger (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Yiannos Manoli (Hahn-Schickard & IMTEK University of Freiburg, Germany)

P11: Sensorik für physikalische Größen 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Autonomer Temperatur- Zeit- Integrator: Philip Schmitt and Karin Wedrich (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Lokalisierter Transport von Schwebstoffen zu programmierbaren, mikroskopischen Sensorpunkten durch Korona-Entladung: Johannes Reiprich, Leslie Schlag, Thomas Stauden, Jörg Pezoldt and Heiko Jacobs (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Design, Herstellung und Charakterisierung von hochpräzisen Beschleunigungssensoren, gefertigt mittels HARMS Technologie und integrierter Elektrodenabstandsverringerung: Benjamin Arnold, Danny Reuter, Jan Mehner, Thomas Otto and Christoph R. Meinecke (Technische Universität Chemnitz, Germany)
Flexibles magnetisches Lese-/Schreibsystem: Einfluss von Wärme auf das Datenbit: Piriya Taptimthong and Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
Investigation of boiling phenomena in microchannels using impedance spectroscopy technique correlated with videography: Mohammadmahdi Talebi, Keith Cobry and Zhonglei Zhou (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Sahba Sadir (Karlsruhe Institute of Technology, Germany); Roland Dittmeyer (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung: Tom Berner and Robert Schulze (Technische Universität Chemnitz, Germany); Alexey Shaporin, Roman Forke and Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)
Zuverlässigkeit von Silizium Dehnmessstreifen für Anwendungen bis 300°C: Thomas Frank, Andre Grün, Stefan Jagomast and Robert Täschner (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany); Patricia Vazquez (Tyndall National Institute, Ireland); Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
Hochgenaue kalibrationsfreie Temperaturdioden: Ingo Tobehn and Michael Blech (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
Langzeitstabilität von Flip-Chip-Absolutdrucksensoren mit TSV's: Robert Täschner, Stefan Jagomast and Stefan Völlmeke (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH); Andrea Cyriax (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Germany); Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)

P2: Anwendung Klima & Umwelt

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Multilyzer - Mikrofluidisches Echtzeitmessystem für die Analyse umweltrelevanter Substanzen: Alfred Lechner, Barbora Blahnikova, Manuel Waas and Dominik Müller (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
Photoakustische Spurengasanalytik von NO2 im ppt-Bereich (10-12) bei Verwendung kostengünstiger Einzelkomponenten: Thomas Rück (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Ignaz Läpple (Universität Regensburg, Germany); Rudolf Bierl (Regensburg University of Applied Sciences, Germany)
Resonance frequency tuning and process design of a micromechanical capacitive cantilever in a photoacoustic trace-gas sensing device: Qi Zhou (Technische Universität Hamburg-Harburg & Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Ferdinand Landgraf (Ostbayerische Technische Hochschule (OTH) Regensburg, Germany); Thomas Rück and Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
Relative Humidity Sensors for System-in-Foil Applications: Mourad Elsobky and Björn Albrecht (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Pirmin Ganter and Katalin Szendrei (Max Planck Institute for Solid State Research, Germany); Thomas Deuble (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany); Christine Harendt (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Bettina Lotsch (Ludwig-Maximilians-Universität (LMU), Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
Miniaturisierter plasmonischer Sensor für das Monitoring von Weichmacher: Johannes Fischer (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Peter Hausler (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg & Sensorik-Applikationszentrum (SappZ), Germany); Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)

P3: Anwendung Medizin & Bio

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Entwurf eines thermoelektrischen Generators für elektrisch aktive Implantate: Onkar Sandip Jadhav (Universität Rostock, Germany); Chengdong Yuan (Jade University of Applied Science, Germany); Tamara Bechtold and Dennis Hohlfeld (Universität Rostock, Germany)
Dünnfilmverkapselungen für medizinische Anwendungen: Franz Selbmann, Nooshin Saeidi and Prahlad Mohandas (Fraunhofer ENAS, Germany); Mario Baum (Fraunhofer ENAS & ENAS, Germany); Maik Wiemer (Fraunhofer ENAS, Germany); Yvonne Joseph (TU Bergakademie Freiberg, Institute for Electronic and Sensor Materials, Germany); Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)
Implantable Wireless Ultra-low Power Data Logger for Temperature Measurements in Animal Brains: Simon Heller, Kim Allinger, Uwe Pelz and Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Zuverlässige, langzeitstabile Systeme für die Optogenetik: Linda Rudmann, Eva Fiedler, Marie T. Alt, Sebastian Huber and Annette Mittnacht (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Juan Ordonez (Indigo, Belgium); Thomas Stieglitz (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Fertigungsstrategien zur funktionserhaltenden und biokompatiblen Integration von IoT-Bauteilen in medizinisch relevante Kunststoffe: Valerie M. K. Werner (Technical University of Munich, Germany); Tanja Müller, Xiaoting Qi, Matthias Zeppenfeld and Markus Eblenkamp (Technische Universität München, Germany)
Integriertes System zur simultanen Detektion von Krankenhauskeimen und deren Antibiotikaresistenzen auf Einzelzellebene: Felix von Stetten (Hahn-Schickard); Nadine Borst, Mara Specht, Martin Schulz, Nils Paust, Jia Li and Simon Wadle (Hahn-Schickard, Germany); Ulrike Götz (Hohenstein Laboratories GmbH & Co. KG, Germany); Evi Held-Föhn (Institut für Textil- und Verfahrenstechnik, Denkendorf, Germany); Wolf-Alexander Heiß (Forschungsinstitut Edelmetalle + Metallchemie, Germany); Florian Hausladen and Raphael Mader (Institut für Lasertechnologien in der Medizin an der Universität Ulm, Ulm, Germany); Karl Stock (Institut für Lasertechnologien in der Medizin an der Universität Ulm, Germany); Marcel Röder (Hahn-Schickard, Germany); Annerose Serr and Georg Häcker (Institut für Medizinische Mikrobiologie und Hygiene, Uniklinik Freiburg, Germany); Roland Zengerle (Hahn-Schickard, Germany)
Herstellung von mikrostrukturierten Abutments zur Optimierung von Zahnimplantatsystemen: Patrick Doll, Taleieh Rajabi and Ralf Ahrens (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Bruno Spindler (Fräszentrum Ortenau GmbH und Co. KG, Germany); Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)

P4: Aufbau- und Verbindungtechnik 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Silizium Einbett-Technologie mittel Wafer Level Packaging für GaN Leistungselektronik-Bauteilen: Charles-Alix Manier, Robert Gernhardt and Kai Zoschke (Fraunhofer IZM, Germany); Peter Moens (ON Semiconductor, Belgium); Hermann Oppermann (Fraunhofer IZM, Germany); Klaus-Dieter Lang (Technische Universität Berlin, Germany)
Innovatives hermetisches Packaging-Konzept für Laserdioden auf Waferebene: Vanessa Stenchly, Wolfgang Reinert and Hans-Joachim Quenzer (Fraunhofer ISIT, Germany)
Bleifreier Lotstapel für fluidische Selbstmontage von Siliziumchips: Mahsa Kaltwasser (Technische Universität Ilmenau, Germany); Shantonu Biswas (Technical University of Ilmenau & Technical University of Ilmenau, Germany); Thomas Stauden, Heiko Jacobs, Udo Schmidt and Andreas Bund (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Automatisierte Montage von Dehnungsmessstreifen auf nicht ebenen 3D-Flächen: Sebastian Sauer, Matthias Brozio and Arun Kumar (Fraunhofer IPT, Germany); Christian Schiek (Häcker Automation GmbH, Germany)
Verbindungstechnologien zur Herstellung hochpixelierter LED-Lichtquellen: Morten Brink and Hermann Oppermann (Fraunhofer IZM, Germany); Klaus-Dieter Lang (Technische Universität Berlin, Germany)

P5: Energy Harvesting und Power Management

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Heterogene Integration einer Miniatur-Solarzelle für autarke Sensoren: Christopher Krause, Martin Stühlmeyer, Martin Figge and Andreas Goehlich (Fraunhofer IMS, Germany); Holger Kappert (Fraunhofer institute of Microelectronic Circuits and Systems, Germany)
Development and performance analysis of an energy-autonomous VHF-beacon for animal-tracking: Eiko Bäumker, Florian Schüle and Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Frequency tunable energy harvester with segmented piezoelectric patches for improved power generation: Sofiane Bouhedma and Dennis Hohlfeld (Universität Rostock, Germany)
Piezoelektrika für Energy-Harvester. Ein Vergleich: Erdem Yarar and André Piorra (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Simon Fichtner (Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Germany); Victor Tolstrup, Thomas Lisec and Tim Reimer (Fraunhofer ISIT, Germany); Fabian Lofink (Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Germany); Dirk Meyners (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Bernhard Wagner (Fraunhofer ISIT, Germany); Eckhard Quandt (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany)
Rotary Capacitor Measurement Setup for Evaluating the Internal Biasing of Electrostatic Energy Harvesters: Stefan Ciba (Hochschule Heilbronn, Germany); Alexander Frey (Hochschule für angewandte Wissenschaften Augsburg, Germany); Ingo Kuehne (Hochschule Heilbronn, Germany)
Ladezeitverkürzung von Batterien durch Nanostrukturierung der Elektrodenoberflächen: Konja Wick and Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)

P6: Messtechnik

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion: Diana Goller, Alexander Utz, Mohamed Makhlouf, Lutz Gendrisch, Stephan Kolnsberg, Franz Vogt and Dirk Weiler (Fraunhofer IMS, Germany); Holger Vogt (Fraunhofer IMS; EBS Universität Duisburg Essen)
MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung: Boris Goj (Technische Universität Ilmenau, Germany); Sebastian Bohm (Technische Universitaet Ilmenau & FIVEmicrons GmbH, Germany); Lars Dittrich (Technische Universitaet Ilmenau, Germany); Lothar Dressler, Michael Kühnel and Thomas Fröhlich (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme: Sebastian Bohm (Technische Universitaet Ilmenau & FIVEmicrons GmbH, Germany); Boris Goj (Technische Universität Ilmenau, Germany); Lars Dittrich (Technische Universitaet Ilmenau, Germany); Lothar Dressler (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Beiträge zur In-Situ Sensorik für die Inspektion von Kontaktstellen an Leistungshalbleitern: Michael Schaulin, Steffen Junker, Martin Oppermann, Volkmar Norkus and Thomas Zerna (Technische Universität Dresden, Germany)
Entwicklung und Aufbau eines Tribometers zur anwendungsnahen Charakterisierung von Reibschichten für eine Positionssensorik: Christian Vetter (Hochschule Kaiserslautern, Germany); Franz-Josef Braun and Heiko Knoll (Sensitec GmbH, Germany); Jean-Pierre Mutuyimana (Hochschule Kaiserslautern, Germany); Christof Sailer (Sensitec GmbH, Germany); Martin Theis and Monika Saumer (Hochschule Kaiserslautern, Germany)
Charakterisierung der Zuverlässigkeit in der High-K Metal Gate Technologie: Maximilian Drescher (Fraunhofer IPMS, Germany); Elke Erben, Carsten Grass and Martin Trentzsch (Globalfoundries Modul One LLC Co. KG, Germany); Florian Lazarevic, Roman Leitsmann and Philipp Plänitz (AQcomputare GmbH, Germany); Teimuraz Mchedlidze (Technische Universität Dresden, Germany); Konrad Seidel and Romy Liske (Fraunhofer IPMS, Germany); Johann Wolfgang Bartha (Technische Universität Dresden)
Multi-window Transmission Electron Microscopy liquid cell to improve imaging performance: Deybith Venegas-Rojas (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany & Instituto Tecnológico de Costa Rica, Costa Rica); Sercan Keskin, Sana Azim, Stephanie Manz and R. J. Dwayne Miller (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Hoc Khiem Trieu (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany)
Miniaturroboter für die Rohranalyse: Christof Megnin, Daniel Schillinger, Karl Lappe, Christoph Grandauer and Konstantin Hoffmann (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Ann-Katrin Leiting (Université de Strasbourg, France); Jan Mahler (Sick AG, Germany); Yiannos Manoli (Hahn-Schickard & IMTEK University of Freiburg, Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)

P7: Mikroaktorik 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

3D Micro-machined Inductive Suspensions with the Lowest Energy Consumption: Kirill Poletkin (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Mikropfeifen für selbständiges Wohnen im Alter: Felix Beckmann, Johannes Sackmann and Werner Karl Schomburg (RWTH Aachen, Germany)
Optische Greifkraftsensorik aus SU-8 für Mikrogreifer: Benjamin Gursky, Mayra Garcés-Schröder, Monika Leester-Schädel, Markus Böl and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Folienbasierte Mikroaktoren aus Formgedächtnislegierung: Christof Megnin (memetis GmbH, Germany); Songxiang Wu, Hinnerk Ossmer, Marcel Gültig, Christoph Wessendorf and Manfred Kohl (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Mikroaktorik für ein Taktiles Display: Eike C Fischer and Anatoly Glukhovskoy (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Andreas Schmelt and Jens Twiefel (IHP, Germany); Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter: Evgenii N. Pyatishev (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, Russia); Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Yakov B. Enns (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, Russia); Anatoly Glukhovskoy and Eike C Fischer (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Andrey Odintsov and Roman Kleimanov (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, Russia)

P8: Mikrofluidik 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

The LabCard - A new approach for centrifugal assay automation: Markus Rombach (Hahn-Schickard, Germany)
Herstellung eines optofluidischen Chips zur hydrodynamischen Immobilisierung und Detektion von Bakterien: Jan Busche and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany); Thomas P Burg (Max Planck Institut für Biophysikalische Chemie, Germany); Margherita Bassu (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Foelke Jürgens (Technische Universität Braunschweig, Germany)
HepaChip-MWP - a novel tool for microfluidic organ-like, continuously perfused liver co-cultures towards application in pre-clinical drug testing: Olena Tomilova, Nicola Groll, Simon Werner, Britta Hagmeyer, Michael Pawlak and Julia Schütte (Eberhard Karls Universität Tübingen, Germany); Holger Becker (microfluidic ChipShop GmbH, Germany); Juliane Schnabel (Microfluidic ChipShop GmbH, Germany); Karsten Gall and Roland Hemmler (Ionovation GmbH, Germany); Rolf Gebhardt and Jan Böttger (University Leipzig, Germany); Martin Stelzle (Eberhard Karls Universität Tübingen, Germany)
Automated particle based C-reactive protein immunoassay with on-disk pre-stored reagents and centrifugo-pneumatic liquid control: Yunpeng Zhao, Gregor Czilwik, Vanessa Klein, Konstantinos Mitsakakis, Roland Zengerle and Nils Paust (Hahn-Schickard, Germany)
Charakterisierung und Manipulation magnetischer Nanofluide im externen Magnetfeld: Jörg Fusenig (Hochschule Trier, Fachrichtung Elektrotechnik & Hochschule Trier, Fachrichtung Elektrotechnik, Germany); Tobias Roth, Dara Feili and Michael Baltes (Hochschule Trier, Germany); Svenja Deuster (Hochschule Trier, Fachrichtung Elektrotechnik, Germany); Hellmut Hupe (Hochschule Trier, Germany); Nazende Günday Türeli (MJR PharmJet GmbH, Germany); Marc Schneider (Universität des Saarlandes, Germany)
Automatisiertes mikrofluidisches System zur Hochdurchsatz DNA-Ligation: Daniela Sánchez, Sepand Rastegar, Vanessa Gerber, Ralf Ahrens, Uwe Strähle and Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)

P9: Mikro-Nano-Integration 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Template-Realized Functional Nanostructures for Energy Conversion and Storage Devices: Yong Lei, Huaping Zhao and Yang Xu (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Untersuchung von dreidimensionalen Nanoelektroden für die intrazelluläre Kontaktierung auf integrierten Schaltungen: Sonja Allani, Andreas Jupe, Martin Figge and Andreas Goehlich (Fraunhofer IMS, Germany); Holger Vogt (Fraunhofer IMS & EBS Universität Duisburg Essen, Germany); Holger Kappert (Fraunhofer institute of Microelectronic Circuits and Systems, Germany)
Integrationstechnik für ZnO-Nanopartikel-Dünnschichttransistoren: Julia Reker, Thorsten Meyers, Fabio Vidor and Ulrich Hilleringmann (Universität Paderborn, Germany)
Nanostrukturierte Beugungsgitter für integrierte Metrologie: Mohamed Bichra, Lutz Müller and Patrick Fesser (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany); Stefan Sinzinger (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Mikromechanische Testplattform zur In-Situ-Charakterisierung nanostrukturierter Funktionsbauteile: Randy Fechner and Manfred Kohl (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Modellierung axial verspannter CNT-Transistoren für Sensoren: Christian Wagner (Technische Universität Chemnitz, Germany); Jörg Schuster (Fraunhofer ENAS, Germany)

Dienstag, 24. Oktober 16:10 - 17:50

3.1: Medizinische Anwendungen

Raum: Alpsee

Chairs: Helmut Seidel (Universität des Saarlandes, Germany), Thomas Velten (Fraunhofer Institute for Biomedical Engineering, Germany)

16:10 Syntheseroboter für die kostengünstige Synthese vieler diagnostischer Peptide: Valentin Haas and Immanuel Riemer (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Felix Löffler (Max Planck Institute of Colloids and Interfaces, Germany); Frank Breitling and Alexander Nesterov-Müller (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
16:30 Multiparametrisches telemetrisches Gewebemonitoring - Entwicklung einer Mikrosensorsonde zur kontinuierlichen Überwachung nach mikrochirurgischem Gewebetransfer: Simon Werner, Peter D Jones, Kai Fuchsberger, Gerhard Heusel, Katharina Neufeld and Jonas Schuff (Eberhard Karls Universität Tübingen, Germany); Thomas Derfuss (LEA Medizintechnik GmbH, Germany); Clemens Boucsein (Multichannelsystems GmbH, Germany); Andreas Pojtinger (2E mechatronic GmbH & Co. KG, Germany); Sigmar Reinert (Universitätsklinikum Tübingen, Germany); Joachim Polligkeit (5UKT Universitätsklinikum Tübingen, Germany); Martin Stelzle (Eberhard Karls Universität Tübingen, Germany)
16:50 Rapid Prototyping mikrofluidischer Chips in Polymethylmethacrylat mittels maskenloser Lithographie: Frederik Kotz (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Patrick Risch (Karlsruhe Institute of Technology & Institute of Microstructure Technology, Germany); Bastian Rapp (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
17:10 Integration konischer Nanoporen in Lab-on-Chip-Systeme für die Histamin-Analyse: Mario El Khoury and Ivana Duznovic (Technische Universität Darmstadt, Germany); Mubarak Ali (GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung, Germany); Wolfgang Ensinger and Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)
17:30 Neuronale Implantate zur Rückkopplung sensorischer Größen verbessern die Mensch-Technik-Interaktion in der Prothetik: Thomas Stieglitz, Paul Cvancara and Matthias Mueller (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Tim Boretius (Neuroloop GmbH, Germany); Patrick Kiele (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Cristian Pasluosta (IMTEK, University of Freiburg, Germany); Stanisa Raspopovic (EPFL, Switzerland); Guiseppe Granata (Universita Cattolica Sacre Cuore, Germany); David Guiraud (INRIA & LIRMM, France); Xavier Navarro (Universitat Autonoma de Barcelona, Germany); Silvestro Micera (Scuola Superiore Sant'Anna, Italy)

3.2: Bio und Chemische Sensorik

Raum: Ammersee 1

Chairs: Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany), Peter Hauptmann (University Magdeburg, Germany)

16:10 Überwachung der Dichteänderung während der Weinfermentation mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren: Georg Pfusterschmied (Technische Universität Wien, Österreich, Austria); Martin Kucera (Technische Universität Wien & AC2T Research GmbH, Austria); Wolfgang Steindl, Achim Bittner, Michael Schneider and Ulrich Schmid (Technische Universität Wien, Österreich, Austria)
16:30 Dynamic fluorescence measurements on DNA microarrays in foil-based microfluidics using multichannel Silicon Photomultipliers: Anna Ohlander, Andrej Seb and Indranil Bose (Fraunhofer EMFT, Germany); Thomas Ganka and Florian Wiest (KETEK GmbH, Germany); Christoph Kutter (Fraunhofer EMFT, Germany)
16:50 Entwicklung eines mikromechanischen kapazitiven Schalldetektors im resonanten Betrieb für die photoakustische Spurengasanalyse: Andreas Zagler (Ostbayerische Technische Hochschule (OTH) Regensburg); Ferdinand Landgraf (Ostbayerische Technische Hochschule (OTH) Regensburg, Germany); Thomas Rück and Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
17:10 miniaturisierte Laserlichtquelle für Infrarotspektroskopie: André Merten and André Dreyhaupt (Fraunhofer IPMS, Germany); Stefan Hugger and Lorenz Butschek (Fraunhofer IAF, Germany); Jan Grahmann and Markus Schwarzenberg (Fraunhofer IPMS, Germany); Ralf Ostendorf, Jan Jarvis and Marko Härtelt (Fraunhofer IAF, Germany)
17:30 Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren: Lutz Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany); Konrad Maier and Andreas Helwig (Airbus Group SE, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)

3.3.: Mikroaktorik II

Raum: Ammersee 2

Chairs: Martin Richter (Fraunhofer EMFT, Germany), Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)

16:10 Piezoelectrically driven and sensed micromirrors with extremely large scan angles and precise closed-loop control: Shanshan Gu-Stoppel, Thorsten Giese, Hans-Joachim Quenzer, Ulrich Hofmann and Wolfgang Benecke (Fraunhofer ISIT, Germany)
16:30 Entwicklung eines bionisch inspirierten, mikro-mechanischen Biegewandlers für effizienten fluidischen Massentransport: Regine Behlert (Technische Universität München, Germany); Hannes Mehner (Technische Universität Ilmenau, Germany); Robert Wieland (Fraunhofer EMFT, Germany); Gabriele Schrag and Matthias Gehring (Technische Universität München, Germany)
16:50 Low fluidic resistance valves utilizing buckling actuators: Ardavan Shabanian, Frank Goldschmidtboeing, Chiranjeevi Chandrahas Dhananjaya, Hitesh Gowda Bettaswamy Gowda, Eiko Baeumker and Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
17:10 Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren: Roland Dörr and Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)
17:30 CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren: Holger Conrad, Matthieu Gaudet, Bert Kaiser, Sergiu Langa, Michael Stolz and Harald Schenk (Fraunhofer IPMS, Germany)

3.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme II

Raum: Chiemsee

Chairs: Lothar Frey (Fraunhofer IISB, Germany), Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)

16:10 Mikro-elektromechanisches Elektroniksystem zur Zustandsüberwachung in der Industrie 4.0: Ricardo Ehrenpfordt (Robert Bosch GmbH, Germany)
16:30 Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren zur präzisen Steuerung von Produktionsanlagen: Johannes Paul, Heiko Knoll and Christof Sailer (Sensitec GmbH, Germany); Claudia Glenske (Fundamental R&D, Germany); Sönke Felix-Henningsen and Martin Lang (Sensitec GmbH, Germany); Kai Zoschke and Hermann Oppermann (Fraunhofer IZM, Germany); Martin Theis, Christian Vetter and Monika Saumer (Hochschule Kaiserslautern, Germany); Fabian Lofink (Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Germany); Dirk Meyners (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Peter Frank (Sandvik Tooling Supply Schmalkalden, Germany); Andreas Lenkl (Märzhäuser Sensotech GmbH, Wetzlar, Germany); Fabian Klose (Märzhauser GmbH, Germany); Jörg Eichholz (Fraunhofer ISIT, Itzehoe, Germany)
16:50 Freiformsensorik für Smart-Items-Infrastrukturen in Produktionsumgebungen: René Grünke (Schaeffler AG, Germany)
17:10 Der multisensorische Werkzeughalter: Matthias Brozio and Sebastian Sauer (Fraunhofer IPT, Germany); Hilmi Yavuz and Mirko Lütgens (Montronix GmbH, Germany); Manuel Salvasohn (Mapal Dr Kress KG, Germany); David Berthold (EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, Germany); Christian Schiek (Häcker Automation GmbH, Germany)
17:30 Produktfähige autarke und sichere Foliensysteme für Automatisierungslösungen in Industrie 4.0: Stefan Saller, Tobias Pfeiffer and Daniel Kersten (Festo AG & Co. KG, Germany); Matthias Mahlich and Cristian Nagel (Robert Bosch GmbH Renningen, Germany); Thorsten Hehn and Dieter Mintenbeck (Hahn-Schickard, Germany); Thomas Deuble (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany); Ulrike Rödig and Antonio Escobar-Molero (Infineon Technologies AG, Germany); Ingo Freund (Micronas GmbH, Germany); Marianne Schäfer (TDK-Micronas GmbH, Germany); Günther Lippold (RoodMicrotec GmbH, Germany); David Rahusen (Stackforce, Germany); Alina Schreivogel (Würth Elektronik GmbH, Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)

Dienstag, 24. Oktober 19:30 - 22:30

Abendveranstaltung

Raum: Löwenbräukeller

Mittwoch, 25. Oktober

Mittwoch, 25. Oktober 8:45 - 9:00

Begrüßung

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Mittwoch, 25. Oktober 9:15 - 9:30

Keynote 1

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Mittwoch, 25. Oktober 9:30 - 9:45

Keynote 2

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Mittwoch, 25. Oktober 9:45 - 10:20

Preisverleihung

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Mittwoch, 25. Oktober 10:20 - 10:50

Kaffeepause

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Mittwoch, 25. Oktober 10:50 - 12:10

4.1: Mikrofluidik I

Raum: Alpsee

Chairs: Roland Zengerle (Hahn-Schickard & IMTEK University of Freiburg, Germany), Klaus Drese (Coburg University of Applied Sciences and Arts, Germany)

10:50 Vertical Nanoslit Arrays for Separating Molecules by Size and Charge: Margherita Bassu (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Peter Holik and Sam Schmitz (Center of Advanced European Studies and Research, Germany); Siegfried Steltenkamp (Forschungszentrum Caesar, Germany); Thomas P Burg (Max Planck Institut für Biophysikalische Chemie, Germany)
11:10 3D-Flow-Focusing-Emulgiersystem für die Kristallisation und Konzentrierung von Nanopartikeln pharmazeutischer Wirkstoffe: Thomas Lorenz and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
11:30 Mikroinkubator mit Hydrogelmembranen für die Langzeitkultivierung von Säugetierzellen: Frank Bunge, Sander van den Driesche and Michael J Vellekoop (Universität Bremen, Germany)
11:50 EWOD System für optische Schalter: Sarah Günther (Technische Universität Ilmenau, Germany); Csaba Endrödy (Technische Universitaet Ilmenau, Germany); Shuhao Si and Sebastian Gropp (Technische Universität Ilmenau, Germany); Stefan Weinberger (X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH, Germany); Herbert D'heer (Ghent University - imec, Belgium); Dries Van Thourhout (INTEC Department, Photonics Research Group, Ghent University, Belgium); Anna Neft (Bartels Mikrotechnik GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)

4.2: Sensorik für physikalische Größen

Raum: Ammersee 1

Chairs: Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany), Christina Leinenbach (Robert Bosch GmbH, Germany)

10:50 Thermischer Massenflusssensor mit Pt-Dünnschicht-Elementen: Christoph Hepp, Patrick Grob, Tomas Ciesla and Niklaus Kränzlin (Innovative Sensor Technology IST AG, Switzerland)
11:10 Kompakter Wellenlängensensor für Hochgeschwindigkeitsauslese von Faser-Bragg-Gittern: Hans-Georg Ortlepp, Michael Hintz, Kristin Neckermann, Dennis Mitrenga, Stefan Görlandt, Christoph Heinze and Andreas T Winzer (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
11:30 Mikrosensor zur Bestimmung der Lichteinfallsrichtung: Dennis Mitrenga, Martin Schädel, Stefan Völlmeke, Klaus-Dieter Preuß, Andreas T Winzer and Christian Möller (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
11:50 Gedünnte kapazitive Silizium-Drucksensoren in flexiblen und dehnbaren extra weichen Substraten für haptische Messungen; Untersuchungen zur Kompensation der Biegeabhängigkeit des Sensor-Output-Signals: Roland Fischer (RWTH Aachen University, Germany); Lisa Weichsel and Wilfried Mokwa (RWTH Aachen, Germany); Michael Görtz (Fraunhofer IMS, Germany)

4.3: Systemintegration

Raum: Ammersee 2

Chairs: Karin Bauer (Universität des Saarlandes, Germany), Claas Müller (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)

10:50 Hybride Systeme in Folie (HySiF) mittels Adaptivem Layout und einem Laserdirektschreiber für die Herstellung von Prototypen: Björn Albrecht, Golzar Alavi, Mahadi Hassan, Saleh Ferwana, Holger Sailer and Christine Harendt (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
11:10 Elektrochemische Pulsstromabscheidung von Kupfer für Si-Durchkontakte in MEMS: Experiment und Simulation: Lutz Hofmann (Fraunhofer ENAS, Germany); Andreas Zienert (Technische Universität Chemnitz & Fraunhofer ENAS, Germany); Jörg Schuster (Fraunhofer ENAS, Germany); Stefan E. Schulz (Chemnitz University of Technology & Fraunhofer ENAS, Germany)
11:30 BiCMOS Embedded Microfluidic Technology Based on Wafer Bonding Techniques for Biosensor Applications: Mesut Inac (Berlin Technical University, Germany); Matthias Wietstruck, Alexander Göritz, Barbaros Cetindogan, Canan Baristiran-Kaynak, Steffen Marschmeyer, Mirko Fraschke, Thomas Voß and Andreas Mai (IHP, Germany); Cristiano Palego (Bangor University, United Kingdom (Great Britain)); Arnaud Pothier (Univ Limoges - CNRS - XLIM UMR7252, France); Mehmet Kaynak (IHP, Germany & Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Turkey)
11:50 Miniaturized Actuators in Cooperative Systems for Separation Control: Karin Bauer and Markus Blechschmidt (Universität des Saarlandes, Germany)

4.4: Industrie invited

Raum: Chiemsee

Chairs: Margarete Zoberbier (SUSS Micro Tec Lothography GmbH, Germany), Roland Werthschützky (Technische Universität Darmstadt, Germany)

Mittwoch, 25. Oktober 12:10 - 13:00

Mittagessen

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Mittwoch, 25. Oktober 13:00 - 14:30

P12: Aufbau- und Verbindungtechnik 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Kompakte Faserankopplung für einen extrem kleinen Einzelphotonendetektor: Christian Möller, Kristin Neckermann and Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
Flying Dies im Fan Out Wafer Level Package: Stefan Raatz, Tanja Braun, Karl-Friedrich Becker, Joerg Bauer, Ole Hölck, Ruben Kahle and Volker Bader (Fraunhofer IZM, Germany); Tina Thomas and Steve Voges (Technische Universität Berlin, Germany); Rolf Aschenbrenner (Fraunhofer IZM, Germany); Klaus-Dieter Lang (Technische Universität Berlin, Germany)
Herstellung von LED-Beleuchtungsmodulen mittels innovativer Flip-Chip Technologie: Lena Goullon (Fraunhofer IZM, Germany)
Mikrostrukturelle Veränderungen in Gold-Zinn- und Kupfer-Zinn-Bumps nach Wärmebehandlung bei bis zu 300 °C: Lena Goullon, Matthias Hutter and Felix Schmeiser (Fraunhofer IZM, Germany)
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten: Sebastian Beringer (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Dragan Dinulovic (Würth Elektronik eiSos GmbH und Co. KG, Germany); Sebastian Bengsch (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Martin Haug (Würth Elektronik eiSos GmbH und Co. KG, Germany); Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen: Andreas Heid and Lukas Scheuble (Hochschule Furtwangen, Germany); Rene P. von Metzen (NMI Natural and Medical Sciences Institute, Germany); Volker Bucher (Hochschule Furtwangen, Germany)
Dünnglas-basierter Aufbau von elektrisch-optischen Hybrid-Systemen: Gunnar Böttger, Daniel Weber and Henning Schröder (Fraunhofer IZM, Germany); Martin Schneider-Ramelow (Fraunhofer IZM & TU Berlin, Germany)

P13: Bio und Chemische Sensorik

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Development of an Extended Gate Field Effect Transistor (EGFET) based low-cost pH sensor: Naser Mokhtarifar, Frank Goldschmidtboeing and Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Interdigitaltransducer als Oberflächenwellen-basierter Impedanzsensor: Vu Hoa Nguyen, Uwe Schnakenberg, Corinna Kaulen and Ulrich Simon (RWTH Aachen, Germany)
A Replaceable Bioreactor Array for Monitoring Mold Spore Contamination in Archives: Poornachandra Papireddy Vinayaka and Roland Blank (Universität Bremen, Germany); Mathias Frodl (Microfab gmbh, Germany); Muhammad Waseem Tahir, Nayyer Abbas Zaidi, Sander van den Driesche, Martin Oellers, Walter Lang and Michael J Vellekoop (Universität Bremen, Germany)
Mikro-Opto-Elektro-Mechanisches Sensorsystem zur Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie: Peter Hausler (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg & Sensorik-Applikationszentrum (SappZ), Germany); Carina Roth and Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Thomas Hirsch and Christa Genslein (Universität Regensburg, Germany)
In situ Messung der Konzentrationsverteilung von H2, O2, und H2O2 in Mikroreaktoren für die H2O2-Direktsynthese mit miniaturisierten elektrochemischen Sensoren: Sebastian Urban (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Benedikt J. Deschner (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Andreas Weltin (University of Freiburg, Germany); Manfred Kraut and Roland Dittmeyer (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Gerald Urban (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
„Smart Apple" - Wireless Smart Sensor System: Christoph Mayer, Matic Krivec and Raimund Leitner (CTR AG, Austria); Dieter Maier and Roland Waldner (Philips Consumer Lifestyle Klagenfurt, Austria)
Label-freie bildgebende Echtzeitdetektion von Molekül-Molekül-Interaktionen auf Mikroarrays: Jürgen Burger, Philipp Meyer, Johannes Woehrle, Christin Rath, Tobias Herz, Normann Kilb and Stefan Kraemer (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Guenther Proll (Biametrics GmbH, Germany); Guenter Roth (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Portable photoakustische Messeinheit zur NO2 Detektion im Spurengasbereich: Peter Gaida and Stefan Weigl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Simon Gassner (Infineon Technologies AG & Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Thomas Rück and Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)

P14: Materialien und Technologien

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Fluor-basiertes Plasmatiefenätzen von Zerodur für mikrotechnische Anwendungen: Christoph Weigel (Technische Universität Ilmenau, Germany); Wolfgang Schonefeld (Sinn Spezialuhren GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Galvanische Abscheidung von Aluminium für die Mikrosystem- und Leiterplattentechnik: Silvia Hertel, Dirk Wünsch, Maik Wiemer and Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)
3-dimensionale Mehrlagenkeramik-Module: Manja Kloska, Heike Bartsch and Jens Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany); Thomas Haas and Christian Zeilmann (Micro Systems Engineering GmbH, Germany)
High Intensity UV-LED Mask Aligner for Applications in Industrial Research: Katrin Schindler and Ulrich Leischner (SUSS MicroTec Lithography GmbH, Germany); Christina Lopper (Fraunhofer IZM, Germany); Paul Kaiser, Thomas Striebel and Ulrike Schömbs (SUSS MicroTec Lithography GmbH, Germany)
High aspect ratio silver nanowires for flexible conductive networks with high optical transparency as electrodes for mechanical actuators: Stefan Schierle, Peter Woias and Frank Goldschmidtboeing (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage: Daniel Klaas, Florian Pehrs and Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
Shrinkage of periodic nanopatterns with tunable feature sizes: Shuhao Si (Technische Universität Ilmenau, Germany); Lars Dittrich (Technische Universitaet Ilmenau, Germany); Christoph Weigel (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Analyse und Optimierung des ECDM Prozesses von Gläsern: Lars Pauls and Claas Mueller (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
3D Strukturierung von Silizium mittels Grauwert-Technologie: Uma Muthiah (Hochschule Furtwangen, Germany); Isman Khazi (Hochschule Furtwangen & Institut für Mikrosystemtechnik (iMST), Fakultät Mechanical & Medical Engineering, Germany); Ulrich M Mescheder (Hochschule Furtwangen, Germany)
Ultrakurzpulslaserfertigung von Mikroantrieben aus Formgedächtnislegierungen: Mayra Garcés-Schröder, Monika Leester-Schädel, Benjamin Gursky, Markus Böl and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Herstellung keramischer Mikroreaktoren im Spritzgussverfahren: Anna Medesi, Dorit Nötzel, Sandra Schlehahn, Kilian Pursche and Michael Türk (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Silicium-Keramik-Verbundsubstrat für einen HF-MEMS Oszillator: Sebastian Gropp, Johannes Stegner and Michael Fischer (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany); Uwe Stehr and Jens Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany); Matthias Hein (Ilmenau University of Technology, Germany)
Mikrozerspanung als maskenlose Alternative zu reinraumgebundenen Mikrofertigungsverfahren im Forschungsbetrieb: Michael Stopp (Universität des Saarlandes, Germany); Patrick Klär (Hochschule Kaiserslautern, Germany)
MEMS-basierter Elektrospray-Chip zur Materialabscheidung: Natalie Pagel and Helmut Seidel (Universität des Saarlandes, Germany); Dara Feili (Hochschule Trier, Germany); Karin Bauer (Universität des Saarlandes, Germany)
Licht geleitete elektrophoretische Abscheidung von BaTiO3: Markus Mauck (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany); Claas Müller (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Fs-Laser induzierte Ätzstrukturen in Foturan für hoch parallelisierte Mikroreaktoren: Sven Meinen, Lasse Frey, Rainer Krull and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Prozessentwicklung für das Mikropulverspritzgießen kurzfaserverstärkter Oxid-Oxid-Komposite: Hasan Metin Tülümen and Benjamin Ehreiser (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany); Michael J. Hoffmann, Rainer Oberacker and Volker Piotter (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
2D-Materialien basierende MEMS: Stefan Wagner (RWTH Aachen, Germany); Satender Kataria and Max C Lemme (Universität Siegen, Germany)

P15: Mikroaktorik 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Analytische Modellierung von kreisförmigen, bistabilen Membranen mit unterschiedlichen, geometrischen Abmessungen: Manuel Dorfmeister, Richard Pfister, Michael Schneider and Ulrich Schmid (Technische Universität Wien, Österreich, Austria)
Strömungsbeeinflussung durch stehende akustische Wellen und Umsetzung mittels mikrotechnischer Ultraschall-Arrays: Christian Kiefer, Daniel Gillo and Karin Bauer (Universität des Saarlandes, Germany); Dara Feili (Hochschule Trier, Germany); Helmut Seidel (Universität des Saarlandes, Germany)
Kapazitive mikromechanische Ultraschallsysteme (CMUT) für die zerstörungsfreie Prüfung und Überwachung: Sandro G. Koch, Nicolas Lange, Marco Kircher, Marcel Krenkel, Mario Grafe, Dirk Rudloff and Joerg Amelung (Fraunhofer IPMS, Germany)
Modeling Shear Stress and Oxygen Concentration for Optimization of Micropillars Microbioreactors: Deybith Venegas-Rojas (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany & Instituto Tecnológico de Costa Rica, Costa Rica); Jens Budde (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany); Dominik Noerz and Manfred Juecker (Universitätsklinikum Hamburg-Eppendorf, Germany); Hoc Khiem Trieu (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany)
Motion analyzer for characterization of micro actuators with movements in 3 degrees of freedom: Christian Nakic and Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)

P16: Mikrofluidik 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Sprayganik - Spraytool für organische Elektronik: Michael Betz (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg); Alfred Lechner (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
Schlauchbasierte Einwegpumpen und -ventile für mikrofluidische Anwendungen: Andreas Loth and Ralf Förster (Beuth HS für Technik Berlin, Germany)
Low-Cost Fabrikation neuartiger Organ-on-a-Chip Systeme als Alternative zur Softlithografie: Eugen Koch, Jonathan Kottmeier, Andreas Dietzel, Verena Ledwig and Stephan Reichl (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Mikrospritzgusstechnik für die automatisierte Zellseparation: Joachim Bertram (IBA GmbH, Germany)
Fabrikation und Analyse von deterministic lateral displacement (DLD) - Systemen zur Partikelsortierung bei Re > 1: Jonathan Kottmeier, Arno Kwade and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Fertigung von modularen mikrofluidischen Bioreaktoren zur Synthese von pflanzlichen Sekundärmetaboliten: Tim Finkbeiner, Ralf Ahrens, Jan Maisch, Manish Raorane and Christina Manz (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); David Ullisch, Jan Lenke and Gilbert Gorr (Phyton Biotech GmbH, Germany); Peter Nick and Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Keramische Mikro-Plasmaquelle für die selektive Behandlung von Zellkulturen: Michael Fischer (Technische Universität Ilmenau, Germany); Ady Naber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Mike Stubenrauch (Technische Universität Ilmenau, Germany); Nam Gutzeit (Technische Universität Ilmenau & IMN, Germany); Maren Klett, Andreas Schober, Hartmut Witte and Jens Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Mikrofluidischer Chip zur in vitro-Diagnostik von Infektionskrankheiten: Taleieh Rajabi, Helena Melzer, Ralf Ahrens and Maryam Aalami (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Guido Böse (Zendia GmbH, Germany); Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)

P17: Mikro-Nano-Integration 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Modellierung einer siliziumbasierten Membran für die Brennstoffzellen-Anwendung: Shen-Huei Sun (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Florian Letzkus (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany); Georg Dura (Zentrum für BrennstoffzellenTechnik GmbH, Germany); Konstantin Obertun (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany)
Gewitter im Chip - Resistive Speicher für low-power Anwendungen: Konrad Seidel, Stefan Riedel, Mamathamba Kalishettyhalli Ma, Patrick Polakowski and Johannes Müller (Fraunhofer IPMS, Germany)
Piezoresistive Eigenschaften p- und n-dotierter polykristalliner Siliziumschichten: Michael Blech and Dominik Karolewski (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany); Robert Täschner and Hartmut Übensee (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH); Geert Brokmann (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany); Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH)
Organische Dünnschichttransistoren für AMOLED-Applikationen: Thorsten Meyers, Joachim Vollbrecht, Fabio Vidor, Julia Reker, Heinz-Siegfried Kitzerow and Ulrich Hilleringmann (Universität Paderborn, Germany)
Integration von „bottom-up"-gewachsenen Silizium-Nanodrähten in Rastersonden für „lab-on-a-tip"-Sensorik: Michael Roos, Arezo Behroudj, Madeleine Nilsen and Steffen Strehle (Universität Ulm, Germany)
Thermal Noise in Ideal Micro-machined Levitated Gyroscope: Kirill Poletkin (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Optimierung industrieller Mikrosysteme mit Hilfe maßgeschneiderter Modelle: Systemsimulation eines Silizium-Mikrophons: Gabriele Schrag and Gerhard Wachutka (Technische Universität München, Germany); Thomas Künzig (Infineon Technologies AG, Germany)
Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission: Johannes Bieker and Farough Roustaie (Technische Universität Darmstadt, Germany); Christoph Langer (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Rupert Schreiner (OTH Regensburg, Germany); Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)
Integration of MEMS models in simulations on electronic system level: Tino Blochmann, Peter Schneider and Stephan Gerth (Fraunhofer IIS, Germany)

P18: Optische MEMS

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Robuste adaptive Linsen mit Silikon- und Glasmembranen: Moritz Stürmer, Matthias C Wapler and Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Adaptive Spiegel mit asphärischer Korrektur für Miniatur-Spiegellinsenobjektive mit langer Brennweite: Matthias C Wapler, Florian Lemke, Gazmed Alia and Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Integrierte Multispektralsensoren in CMOS-Technologie: Stephan Junger and Nanko Verwaal (Fraunhofer IIS, Germany); Rico Nestler (Zentrum für Bild- und Signalverarbeitung, Germany); Daniel Gäbler (X-FAB Silicon Foundries SE, Germany)
Zweifarbige Optrode basierend auf ungehäusten Laserdioden und hybridpolymeren Wellenleitern für optogenetische Anwendungen: Michael Schwaerzle, Patrick Ringwald, Oliver Paul and Patrick Ruther (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Miniaturisierte Anregungsquelle für die Fluoreszenzlebensdauermessung: Christian Möller, Andreas T Winzer, Hans-Georg Ortlepp, Christoph Heinze and Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
Extrem miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor: Jonathan Seybold, André Bülau and André Zimmermann (Hahn-Schickard, Germany); Alexander Frank (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany); Cor Scherjon (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
Innovatives nanoskalares Metallschichtsystem trifft wärmesensible Laserdiode oder von der Anwendung einer reaktiven Raum-Temperatur-Verbindungstechnologie am Beispiel einer miniaturisierten optischen Baugruppe: Jan Freitag (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany); Indira Käpplinger (Siegert Thinfilm Technology GmbH, Germany); Klaus Vogel (Fraunhofer ENAS, Germany)
Integration von SMD-LEDs in elektrisch-optische Leiterplatten für Sensoranwendungen: Jendrik Schmidt, Ekaterina Sergeeva, Haldor Hartwig and Dennis Hohlfeld (Universität Rostock, Germany)
Mikrotechnisch hergestellte Strahlteileraufnahme zur Verwendung in einem optischen Gyroskop: Ingmar Leber and Thalke Niesel (Technische Universität Braunschweig, Germany); Christian Werner, Liang Yu and Jens Flügge (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Germany); Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Schmalbandige photonische Kristalle für Multispektral-Analyse: Andras Kovacs (Hochschule Furtwangen, Germany); Alexey Ivanov (Fraunhofer Institut für Solar Energiesysteme); Ullrich Mescheder (Hochschule Furtwangen University)

P19: Sensorik für physikalische Größen 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Robuster Vibrationssensor zur Zustandsüberwachung an Schienenfahrzeugen: Michael Pleul and Christoph R. Meinecke (Technische Universität Chemnitz, Germany); Petra Streit (Fraunhofer Institut ENAS, Germany); Rene Kürschner (AMAC ASIC- und Mikrosensoranwendung Chemnitz GmbH, Germany); Jonas Albers (Lenord, Bauer & Co. GmbH, Germany); Eric Schubert (AMAC ASIC- und Mikroanwendungen Chemnitz GmbH, Germany); Danny Reuter (Technische Universität Chemnitz, Germany); Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)
Faseroptisches Sensorarray aus PDMS zur Ermittlung lokaler Druckbelastung beim Coiling intrakranieller Aneurysmen: Sohrab Shojaei Khatouni (Technische Universität Hamburg, Germany); Kristina Kaiser and Hoc Khiem Trieu (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany)
Einbindung eines 2D-Photodetektors in einen hochintegrierten SPR-Imaging-Sensor: Carina Roth (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Peter Hausler (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg & Sensorik-Applikationszentrum (SappZ), Germany); Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
Entwicklung elektrochemisch abgeschiedener, hartmagnetischer Maßstäbe aus einer Kobaltlegierung für eine lineare Positionssensorik: Martin Theis (Hochschule Kaiserslautern, Germany); Adrian Boecker, Christof Sailer and Rainer Sickart (Sensitec GmbH, Germany); Christian Vetter and Monika Saumer (Hochschule Kaiserslautern, Germany)
A New Approach for In-Line Heat Chuck Temperature Measurement Based on SAW Technology: Martin Lenzhofer (Carinthian Tech Research AG & CTR AG, Austria); Wolfgang Stocksreiter (FH JOANNEUM, Austria); Stefan Szirch (Infineon Technologies Austria AG, Austria)
Prozess- und Zustandsüberwachung von Leichtbaustrukturen durch Sensorintegration: Florian Rost (Fraunhofer ENAS, Germany); Benjamin Arnold (Technische Universität Chemnitz, Germany); Sven Rzepka (Fraunhofer ENAS, Germany)

Mittwoch, 25. Oktober 14:30 - 16:10

5.1: Mikrofluidik II

Raum: Alpsee

Chairs: Karla Hiller (Chemnitz University of Technology, Germany), Stefan Sinzinger (Technische Universität Ilmenau, Germany)

14:30 Optofluidische Küvetten mit integrierten optischen Polymerwellenleitern für Fluidanalyse auf Leiterplatten: Ekaterina Sergeeva, Haldor Hartwig and Dennis Hohlfeld (Universität Rostock, Germany)
14:50 Fabrication Advances for Microfludic Cryofixation: Marie Fuest (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Giovanni Nocera (Max Planck Institute for Biophysical Chemistry, Germany); Mario M. Modena (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Thomas P Burg (Max Planck Institut für Biophysikalische Chemie, Germany)
15:10 Herstellung von Lipidnanopartikeln in einem ultraschallunterstützten multilaminations Mikromischer: Holger Bolze (Max Planck Institute for Biophysical Chemistry, Germany); Juliane Riewe, Heike Bunjes and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany); Thomas P Burg (Max Planck Institut für Biophysikalische Chemie, Germany)
15:30 Entwicklung eines geregelten Mikrodosiersystems zur kontrollierten Flüssigkeitsdosierung: Johannes Häfner, Anna Bauer, Yining Tian, Sebastian Kibler, Martin Richter and Christoph Kutter (Fraunhofer EMFT, Germany)
15:50 Mikrofluidisches Zellzählmodul zur Detektion von Pathogenen in Flüssigkeiten: automatisiert, integrierbar und robust: Sabine Alebrand, Peter Spang, Knut Welzel, Jörn Wittek, Martin Tracksdorf, Dennis Dethling, Carmen Schwind, Cornelius Oster and Michael Bassler (Fraunhofer ICT-IMM, Germany)

5.2: Materialien und Technologien

Raum: Ammersee 1

Chairs: Andreas Leson (Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS, Germany), Wolfgang Benecke (Fraunhofer ISIT, Germany)

14:30 Herstellung neuartiger Mikrostrukturen für MEMS-Anwendungen durch Pulververfestigung mittels ALD: Steffen Chemnitz (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Tim Reimer and Thomas Lisec (Fraunhofer ISIT, Germany)
14:50 Ultrakurzpuls-Laserprozesse für die Biosensor-Fertigung: Lars Hecht, Korbinian Rager, Gereon Starke and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
15:10 Funktionalisierte 3D-Keramikkomponenten durch Kombination von Mehrlagenkeramik und Keramikspritzguß: Steffen Ziesche, Christian Lenz and Axel Müller-Köhn (Fraunhofer IKTS, Germany)
15:30 Mikrofluidische Galvanik zur Herstellung magnetoresistiver Schichten: Mathias Rechel, Piriya Taptimthong, Matthias Arndt and Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
15:50 Selbstjustierendes Wachstum von 3D Nanobrückenverbindungen: Leslie Schlag, Johannes Reiprich, Thomas Stauden, Jörg Pezoldt, Adriana Ispas, Andreas Bund, Peter Schaaf and Heiko Jacobs (Technische Universität Ilmenau, Germany)

5.3: Aufbau- und Verbindungstechnik

Raum: Ammersee 2

Chairs: Norbert Schwesinger (Technische Universität München, Germany), Michael J Vellekoop (Universität Bremen, Germany)

14:30 Neues Materialsystem zum Fügen von Wafern und Bauelementen mit integrierten reaktiven Multilagensystemen: Klaus Vogel, Silvia Hertel and Frank Roscher (Fraunhofer ENAS, Germany); Sven Zimmermann (Technische Universität Chemnitz, Germany); Maik Wiemer (Fraunhofer ENAS, Germany)
14:50 Reaktive Nanoschichten - ein innovatives Fügekonzept für die AVT auf Bauteil- und Waferlevel: Georg Dietrich (Fraunhofer IWS, Germany); Axel Schumacher (Hahn-Schickard, Germany); Jan Freitag (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
15:10 200 mm Siliziumwafer mit vergrabenen 3D-Ätzstoppschichten für flexible Via-Middle TSVs in CMOS/BiCMOS Technologien: Matthias Wietstruck, Steffen Marschmeyer and Thomas Voß (IHP, Germany); Mesut Inac (Berlin Technical University, Germany); Marco Lisker, Andreas Krüger, D. Wolansky, Philipp Kulse, K. Schulz, Jens Katzer, Alexander Göritz and Andreas Mai (IHP, Germany); Mehmet Kaynak (IHP, Germany & Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik, Turkey)
15:30 Zwei verschiedene Kaverneninnendrücke auf einem MEMS-Wafer durch gestaffeltes Bonden mit modifizierten Germaniumbondrahmen: Marlene Winker (Robert Bosch GmbH & Karlsruhe Institut für Technologie (KIT), Germany); Ralf Hausner (Robert Bosch GmbH, Germany); Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
15:50 Design und Demonstration eines integrierten photonischen Glasinterposers für Mid-Board-Optical Engines: Marcel Neitz (Technische Universität Berlin, Germany); Markus Wöhrmann (Fraunhofer IZM, Germany); Ruiyong Zhang and Mohamed Fikry (FCI Deutschland GmbH, Germany); Sebastian Marx (Technische Universität Berlin, Germany); Henning Schröder (Fraunhofer IZM, Germany)

5.4: Low Power und Energy Harvesting

Raum: Chiemsee

Chairs: Hoc Khiem Trieu (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany), Ulrich M Mescheder (Hochschule Furtwangen, Germany)

14:30 Magnetisch angetriebener Energy-Harvester mit monolithisch integrierten Mikromagneten: Fabian Lofink (Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Germany); Victor Tolstrup, Thomas Lisec, Sascha Bohse and Tim Reimer (Fraunhofer ISIT, Germany); André Piorra, Dirk Meyners and Eckhard Quandt (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Bernhard Wagner (Fraunhofer ISIT, Germany)
14:50 Hochporöses Platin auf Kohlenstoffnanofasern als neue Anode für die implantierbare Glukosebrennstoffzelle: Nachweis der Funktionalität in Blutserum über 30 Tage: Maxi Frei (Universität Freiburg, Germany); Johannes Erben and Julian Martin (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Roland Zengerle (Universität Freiburg & HSG-IMIT, Germany); Sven Kerzenmacher (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
15:10 Integration von Piezoelektrika in Multilayer-Leiterplatten - eine Machbarkeitsstudie: Armin Stogel and Thomas Zeh (Hochschule Kempten, Germany); Frank Goldschmidtboeing (University of Freiburg); Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Till Huesgen (Hochschule Kempten)
15:30 Passiver mechanischer 2-Bit Zähler zur Erfassung und Speicherung von Grenzwertüberschreitungen: Hannes Mehner (X-FAB MEMS Foundry GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany); Philip Schmitt (Technische Universität Ilmenau, Germany)
15:50 Adaptive Linse mit energieeffizienter Treiberelektronik: Thorsten Hehn (Hahn-Schickard, Germany); Moritz Stürmer (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Jürgen Merz (Hahn-Schickard, Germany); Dieter Mintenbeck (Hahn Schickert, Germany); Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Yiannos Manoli (Hahn-Schickard & IMTEK University of Freiburg, Germany)