Program for Mikrosystemtechnik Kongress 2017

Time Plenum (Ballhausforum) Alpsee Ammersee 1 Ammersee 2 Chiemsee Ausstellung (Ballhausforum, Platzl) Löwenbräukeller

Monday, October 23
18:00-19:30 Eröffnung            
19:30-22:00           Get-together  

Tuesday, October 24
08:30-09:00 Begrüßung            
09:00-09:30 Keynote 1            
09:30-10:00 Keynote 2            
10:00-10:30           Kaffeepause  
10:30-12:10   1.1: Consumer- und Industrieanwendungen 1.2: MEMS Simulation, Entwurfsmethodik 1.3: Industrie 4.0 1.4: Mikro-Nano-Integration    
12:15-13:15           Mittagspause  
13:20-14:40   2.1: RF-MEMS 2.2: Optische MEMS 2.3: Mikroaktorik I 2.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme I    
14:40-16:10           P1: Additive Fertigung,
P10: Schaltungen,
P11: Sensorik für physikalische Größen 1,
P2: Anwendung Klima & Umwelt,
P3: Anwendung Medizin & Bio,
P4: Aufbau- und Verbindungtechnik 1,
P5: Energy Harvesting und Power Management,
P6: Messtechnik,
P7: Mikroaktorik 1,
P8: Mikrofluidik 1,
P9: Mikro-Nano-Integration 1		  
16:10-17:50   3.1: Medizinische Anwendungen 3.2: Bio und Chemische Sensorik 3.3.: Mikroaktorik II 3.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme II    
19:30-22:30             Abendveranstaltung

Wednesday, October 25
08:45-09:00 Begrüßung            
09:15-09:30 Keynote 1            
09:30-09:45 Keynote 2            
09:45-10:20 Preisverleihung            
10:20-10:50           Kaffeepause  
10:50-12:10   4.1: Mikrofluidik I 4.2: Sensorik für physikalische Größen 4.3: Systemintegration 4.4: Industrie invited    
12:10-13:00           Mittagessen  
13:00-14:30           P12: Aufbau- und Verbindungtechnik 2,
P13: Bio und Chemische Sensorik,
P14: Materialien und Technologien,
P15: Mikroaktorik 2,
P16: Mikrofluidik 2,
P17: Mikro-Nano-Integration 2,
P18: Optische MEMS,
P19: Sensorik für physikalische Größen 2		  
14:30-16:10   5.1: Mikrofluidik II 5.2: Materialien und Technologien 5.3: Aufbau- und Verbindungstechnik 5.4: Low Power und Energy Harvesting    

Montag, 23. Oktober

Montag, 23. Oktober 18:00 - 19:30

Eröffnung

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Montag, 23. Oktober 19:30 - 22:00

Get-together

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Dienstag, 24. Oktober

Dienstag, 24. Oktober 8:30 - 9:00

Begrüßung

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Dienstag, 24. Oktober 9:00 - 9:30

Keynote 1

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Dienstag, 24. Oktober 9:30 - 10:00

Keynote 2

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Dienstag, 24. Oktober 10:00 - 10:30

Kaffeepause

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Dienstag, 24. Oktober 10:30 - 12:10

1.1: Consumer- und Industrieanwendungen

Raum: Alpsee
Chairs: Volker Saile (KIT, Germany), André Kretschmann (Robert Bosch GmbH, Germany)
10:30 Modellierung eines neuartigen Kamm-Mikrofons mit hohem Signal-Rausch-Verhältnis
Johannes Manz and Gabriele Schrag (Technische Universität München, Germany); Alfons Dehe (Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e. V., Germany); Ulrich Krumbein (Infineon Technologies AG, Germany); Gerhard Wachutka (Technische Universität München, Germany)
10:50 Passiver Schock-Maximalwertsensor
Karin Wedrich (Technische Universität Ilmenau, Germany); Hannes Mehner (X-FAB MEMS Foundry GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
11:10 Messung und Berechnung der Temperaturhysterese von Flip-Chip MEMS-Mikrofonen
Hanna Ebbinghaus (Hochschule für angewandte Wissenschaften München, Germany); Ai Ping Chew (Hochschule München, Germany); Gregor Feiertag (Hochschule München & EPCOS AG, Germany); Sebastian Walser (EPCOS AG ein Unternehmen der TDK Gruppe, Germany)
11:30 Magnetoresistive Sensoren für die nächste Robotergeneration
Rolf Slatter and Rene Buß (Sensitec GmbH, Germany)
11:50 Miniaturisierte Beleuchtungsoptiken für Mobilgeräte
Ulrich Streppel (OSRAM Opto Semiconductors GmbH, Germany); Simon Thiele and Harald Giessen (Universität Stuttgart, Germany)

1.2: MEMS Simulation, Entwurfsmethodik

Raum: Ammersee 1
Chairs: Roland Thewes (Technische Universität Berlin, Germany), Dennis Hohlfeld (University of Rostock, Germany)
10:30 Layout vs. Schematic Check für integrierte elektronisch-photonische Schaltkreise in photonischer BiCMOS-Technologie
Stefan Simon, Georg Winzer and Iria Garcia Lopez (IHP, Germany); Pedro Rito (Instituto de Telecomunicações, Universidade de Aveiro, Portugal); Despoina Petousi, Lars Zimmermann and Thomas Mausolf (IHP, Germany)
10:50 Multiphysics and Multiscale Simulation for the Design of Microstructured Materials and Miniaturized Active Devices
Karin Bauer (Universität des Saarlandes, Germany); Christian Karch (Airbus Group Innovations, Germany)
11:10 Effizienter fluidischer Transport mittels mikromechanischer Aktoren: Numerische Herausforderungen beim Entwurf
Matthias Gehring, Gabriele Schrag and Gerhard Wachutka (Technische Universität München, Germany)
11:30 CFD Berechnung der fluidischen Dämpfung von flexiblen Strukturen basierend auf modaler Projektion
Markus Freitag, Sebastian Voigt and Jan Mehner (Technische Universität Chemnitz, Germany)
11:50 Mikromechanisches 3D-Lorentzkraftmagnetometer mit neuartigem multiaxialem Betriebsprinzip und ultra-low-power Ausleseverfahren
Helena Biegler (Hahn-Schickard, Germany); Daniel Krawat (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Matthias Dienger, Jan Rockstroh and Martin Trächtler (Hahn-Schickard, Germany); Yiannos Manoli (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany); Alfons Dehe (Hahn-Schickard-Gesellschaft für Angewandte Forschung e. V., Germany)

1.3: Industrie 4.0

Raum: Ammersee 2
Chairs: Hubert Steigerwald (Strategische Partnerschaft Sensorik e. V., Germany), Gerald Gerlach (Technische Universität Dresden, Germany)
10:30 Digital Twins an der Schnittstelle zwischen Produktion, Produkt und Technologie
Klaus Funk (Zentrum Digitalisierung. Bayern, Germany); Gunther Reinhart (Technische Universität München, Germany)
10:50 Pragmatische Industrie 4.0 Lösungen für die Produktion im Mittelstand - BMBF-Projekt ScaleIT
Maziar Afshar and Christine Neuy (microTEC Südwest e. V., Germany)
11:10 Interface Guided Innovation - strukturierte Generierung von Innovationen für Industrie 4.0 Anwendungen
Ulf Stocker and Volker Lippitz (INVENSITY GmbH, Germany)
11:30 Zuverlässigkeitsauslegung eines piezoelektrischen Energy Harvesters
Olaf Wittler, Ole Hölck and Stephan Benecke (Fraunhofer IZM, Germany); Tom Dobs (Fraunhofer IZM & Technische Universität Berlin, Germany); Marius van Dijk (Fraunhofer IZM, Germany); Jürgen Keller and Marcus Schulz (AMIC GMBH Berlin, Germany); Volker Bader and Tanja Braun (Fraunhofer IZM, Germany); Klaus-Dieter Lang (Technische Universität Berlin, Germany)
11:50 Condition Monitoring binärer Lösungen mit elektrostatischen Mikrosensoren
Hendrik Thiedke, Thomas Geiling, Boris Goj and Lars Dittrich (FIVEmicrons GmbH, Germany)

1.4: Mikro-Nano-Integration

Raum: Chiemsee
Chairs: Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany), Manfred Kohl (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
10:30 A side-wall spacer process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes
Christian Walk (Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems, Germany); Michael Görtz (Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme, Germany); Wilfried Mokwa (RWTH Aachen, Germany); Holger Vogt (Fraunhofer IMS & EBS Universität Duisburg Essen, Germany)
10:50 Additive Fertigung für Brennstoffzellen und Elektrolyse
Severin Vierrath, Matthias Breitwieser and Melanie Bühler (Hahn-Schickard, Germany); Carolin Klose (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Roland Zengerle (Hahn-Schickard Gesellschaft); Simon Thiele (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
11:10 3D Optical Microresonators: Laser-Assisted Fabrication and Packaging
Vanessa Zamora, Jonas Herter, Christian Janeczka and Henning Schröder (Fraunhofer IZM, Germany)
11:30 MEMS Feldionisation-Gassensor auf Basis von Palladium-Nanostrukturen
Lutz Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany); Hannes Mehner (X-FAB MEMS Foundry GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
11:50 Integriert-optische Schaltnetze und Wellenlängenmultiplexer für energieeffiziente Kommunikationsnetze on-Chip
Timo Lipka and Hoc Khiem Trieu (Hamburg University of Technology, Germany)

Dienstag, 24. Oktober 12:15 - 13:15

Mittagspause

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Dienstag, 24. Oktober 13:20 - 14:40

2.1: RF-MEMS

Raum: Alpsee
Chairs: Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany), Andreas H. Foitzik (TFH Wildau, Germany)
13:20 BiCMOS Embedded RF-MEMS Technologies
Selin Tolunay Wipf, Alexander Göritz, Matthias Wietstruck and Christian Wipf (IHP, Germany); Mehmet Kaynak (IHP, Germany & IHP Microelectronics, Turkey)
13:40 Aktive Q-Faktor Regelung von piezoelektrischen MEMS Cantilevern für High Speed AFM Anwendungen in Vakuum
Martin Fischeneder, Martin Oposich, Michael Schneider and Ulrich Schmid (Technische Universität Wien, Österreich, Austria)
14:00 Prozesskontrolle für die Dünnschichtverkapselung von BiCMOS HF-MEMS-Schaltern mittels BEOL-integriertem Pirani-Element
Alexander Göritz, Selin Tolunay Wipf and Matthias Wietstruck (IHP, Germany); Mehmet Kaynak (IHP, Germany & IHP Microelectronics, Turkey); Andreas Mai (IHP, Germany)
14:20 Millimeterwellen-Sensorsystem zur Messung der Sauerstoffkonzentration in Gasen
Julia Wecker (Technische Universität Chemnitz, Germany); Steffen Kurth, Marco Meinig and Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany); Andreas Bauch and Robert Weigel (Friedrich-Alexander Universität Erlangen-Nürnberg, Germany); Dietmar Kissinger (Ulm University, Germany); Angelika Hackner and Ulrich Prechtel (Airbus Group Innovations, Germany)

2.2: Optische MEMS

Raum: Ammersee 1
Chairs: Hubert Lakner (Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme, Germany), Jürgen Mohr (Karlsruhe Institute of Technology, Germany)
13:20 Waferlevel-Realisierung von Facetten zur Faser-zu-Chip Kopplung für eine photonische BiCMOS-Technologie
Christian Mai (IHP, Germany); Karsten Voigt (Technische Universität Berlin, Germany); Mirko Fraschke, Andreas Trusch, Stefan Lischke, Dieter Knoll, K. Schulz and Philipp Kulse (IHP, Germany); Lars Zimmermann (IHP & Technische Universität Berlin, Germany)
13:40 Steuerbare Ringblenden für segmentierte Besselstrahlen
Angelina Müller, Matthias C Wapler and Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
14:00 Leuchtdiodenchips mit dreidimensional epitaktisch gewachsenen kristallinen GaN Säulen
Robert Ławrowski and Sonja Deml (OTH Regensburg, Germany); Tansen Varghese, Tilman Schimpke, Adrian Avramescu and Martin Behringer (OSRAM GmbH, Germany); Rupert Schreiner (OTH Regensburg, Germany)
14:20 CMOS Bildsensor mit linearer hochdynamischer Pixelzelle mit Selbst-Reset und Pinned-Photodiode
Stefan Hirsch, Markus Strobel, Rainer Hainbucher, Jan Dirk Schulze Spüntrup and Wolfram Klingler (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)

2.3: Mikroaktorik I

Raum: Ammersee 2
Chairs: Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany), Ulrich Schmid (Technische Universität Wien, Austria)
13:20 Rotationsaktorik für durchstimmbare Mikroprismen durch die thermomechanische Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid Balken
Steffen Leopold (X-FAB MEMS Foundry GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
13:40 Customized micro mirror array for highly parallel industrial laser direct processing on the micro- and nanoscale
Jan-Uwe Schmidt, Peter Duerr and Michael Wagner (Fraunhofer IPMS, Germany)
14:00 Miniaturisierung von Mikromembranpumpen für die Integration in Mobilfunkgeräte
Martin Richter, Martin Wackerle, Yuecel Congar, Andreas Drost, Johannes Häfner, Siegfried Röhl, Sebastian Kibler, Jürgen Kruckow and Christoph Kutter (Fraunhofer EMFT, Germany)
14:20 Neuartiger piezoelektrischer Zwei-Wege-MEMS-Lautsprecher
Fabian Stoppel, Florian Niekiel, Thorsten Giese, Shanshan Gu-Stoppel, Christian Eisermann and Bernhard Wagner (Fraunhofer ISIT, Germany)

2.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme I

Raum: Chiemsee
Chairs: Andreas Berns (VDI/VDE Innovation+Technik GmbH, Germany), Anton Grabmaier (University of Duisburg-Essen, Germany)
13:20 Sessionüberblick/ Einführung - BMBF Förderung im Themenbereich sensorbasierte Elektroniksysteme für Industrie 4.0
Andreas Berns (VDI/VDE Innovation+Technik GmbH, Germany)
13:40 Sichere und interaktive Steuerung von Produktionsanlagen durch vernetzte Umfeldsensoren
Thilo Lenhard (InnoSenT GmbH, Germany)
14:00 Nahfeldlokalisierung von Systemen in Produktionslinien
Thomas Fritzsch (Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration, Germany); Peter Gulden (Symeo GmbH, Germany)
14:20 Intelligente elektrische Steckverbinder und Anschlusstechnologien
Jan Stefan Michels (Weidmüller GmbH & Co. KG, Germany); Roland Mödinger and Fabian Kristmann (ERNI Production GmbH & Co. KG, Germany); Oliver Meier (Finke Elektronik GmbH, Germany); Christian Baar (Fraunhofer EMFT, Germany); Frank Ansorge (Fraunhoferr EMFT, Germany); Frank-Peter Schiefelbein and Christian Wegener (Siemens AG, Germany)

Dienstag, 24. Oktober 14:40 - 16:10

P1: Additive Fertigung

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Neue druckbare Polymere für die Mikrooptik
Kirsten Honnef (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Patrick Bollgruen (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg & Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Bestückung additiv gefertigter Mechatronic Interconnect Devices (MID) mittels Laserlöten
Thomas Meißner, Ebru Saller and Tobias Grözinger (Hahn-Schickard, Germany); Tobias Vieten (Universität Stuttgart, Germany); Hagen Müller and Wolfgang Eberhardt (Hahn-Schickard, Germany); André Zimmermann (Universität Stuttgart, Germany)
Entwicklung und Charakterisierung von Ink-Jet gedruckten optischen Streuschichten
Thomas Eiselt, Jan Preinfalk and Guillaume Gomard (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Dennis Graf (Universität Freiburg, Germany); Uli Lemmer (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Entwicklung hochgefüllter Filamente für die additive Fertigung von keramischen und metallischen Bauteilen
Dorit Nötzel (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Polymer-ceramic-composites for 3D inkjet printing
Dennis Graf (Universität Freiburg, Germany); Ana Bermejo and Luis Martinez (TECNAN, Tecnología Navarra de Nanoproductos S. L., Spain); Uwe Gleißner (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Christof Megnin and Thomas Eiselt (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Markus Mauck (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Galvanisch aus 3D Fotolack-Strukturen abgeformte metallische 3D-Freiformen
Frederico Lima (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg & Hochschule Furtwangen, Germany); Isman Khazi (Hochschule Furtwangen & Institut für Mikrosystemtechnik (iMST), Fakultät Mechanical & Medical Engineering, Germany); Alok Tungal and Ulrich M Mescheder (Hochschule Furtwangen, Germany)
Projekt RoMulus: Multi-Sensorische Anwendungen zur Zustandsüberwachung in industriellen Anwendungen
Eric Markweg and Jens Greiner (Tetra Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH, Germany); Thomas Kowallik (Tetra Gesellschaft für Sensorik, Robotik und Automation mbH)

P10: Schaltungen

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Magnetoinductive waves for wireless power transfer: challenges and solutions
Fralett Suárez Sandoval (University of Freiburg); Ali Moazenzadeh and Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
ASIC zur Ansteuerung und Signalerfassung eines CMUT
Marcus Pietzsch, Andreas Weder, Joerg Amelung, Andreas Heinig, Sandro G. Koch and Marco Kircher (Fraunhofer IPMS, Germany)
An integrated electronic circuit for decentralized monitoring of Lithium-ion battery cells
Fida Saidani (Advantest Europe GmbH, Germany); Franz X. Hutter and Wilhelm Selinger (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Stefan Rößler and Wolfgang Braunwarth (Zentrum für Sonnenenergie- und Wasserstoff-Forschung Baden-Württemberg, Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
Ein Aufwärtswandler mit 96,7% Effizienz und einem Ruhestrom von 460 nA für Energy Harvesting Anwendungen
Daniel Schillinger (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Yiannos Manoli (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany)

P11: Sensorik für physikalische Größen 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Autonomer Temperatur- Zeit- Integrator
Philip Schmitt and Karin Wedrich (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Lokalisierter Transport von Schwebstoffen zu programmierbaren, mikroskopischen Sensorpunkten durch Korona-Entladung
Johannes Reiprich, Leslie Schlag, Thomas Stauden, Jörg Pezoldt and Heiko Jacobs (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Design, Herstellung und Charakterisierung von hochpräzisen Beschleunigungssensoren, gefertigt mittels HARMS Technologie und integrierter Elektrodenabstandsverringerung
Benjamin Arnold, Danny Reuter, Jan Mehner, Thomas Otto and Christoph R. Meinecke (Technische Universität Chemnitz, Germany)
Flexibles magnetisches Lese-/Schreibsystem: Einfluss von Wärme auf das Datenbit
Piriya Taptimthong and Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
Investigation of boiling phenomena in microchannels using impedance spectroscopy technique correlated with videography
Mohammadmahdi Talebi, Keith Cobry and Zhonglei Zhou (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Sahba Sadir (Karlsruhe Institute of Technology, Germany); Roland Dittmeyer (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung
Tom Berner and Robert Schulze (Technische Universität Chemnitz, Germany); Alexey Shaporin, Roman Forke and Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)
Zuverlässigkeit von Silizium Dehnmessstreifen für Anwendungen bis 300°C
Thomas Frank, Andre Grün, Stefan Jagomast and Robert Täschner (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany); Patricia Vazquez (Tyndall National Institute, Ireland); Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
Hochgenaue kalibrationsfreie Temperaturdioden
Ingo Tobehn and Michael Blech (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
Langzeitstabilität von Flip-Chip-Absolutdrucksensoren mit TSV's
Robert Täschner, Stefan Jagomast and Stefan Völlmeke (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH); Andrea Cyriax (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH, Germany); Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)

P2: Anwendung Klima & Umwelt

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Multilyzer - Mikrofluidisches Echtzeitmessystem für die Analyse umweltrelevanter Substanzen
Alfred Lechner, Barbora Blahnikova, Manuel Waas and Dominik Müller (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
Photoakustische Spurengasanalytik von NO2 im ppt-Bereich (10-12) bei Verwendung kostengünstiger Einzelkomponenten
Thomas Rück (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Ignaz Läpple (Universität Regensburg, Germany); Rudolf Bierl (Regensburg University of Applied Sciences, Germany)
Resonance frequency tuning and process design of a micromechanical capacitive cantilever in a photoacoustic trace-gas sensing device
Qi Zhou (Technische Universität Hamburg-Harburg & Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Ferdinand Landgraf (Ostbayerische Technische Hochschule (OTH) Regensburg, Germany); Thomas Rück and Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
Relative Humidity Sensors for System-in-Foil Applications
Mourad Elsobky (Robert Bosch GmbH, Germany); Björn Albrecht (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Pirmin Ganter and Katalin Szendrei (Max Planck Institute for Solid State Research, Germany); Thomas Deuble (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany); Christine Harendt (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Bettina Lotsch (Ludwig-Maximilians-Universität (LMU), Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
Miniaturisierter plasmonischer Sensor für das Monitoring von Weichmacher
Johannes Fischer (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Peter Hausler (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg & Sensorik-Applikationszentrum (SappZ), Germany); Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)

P3: Anwendung Medizin & Bio

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Entwurf eines thermoelektrischen Generators für elektrisch aktive Implantate
Onkar Sandip Jadhav (Universität Rostock, Germany); Chengdong Yuan (Jade University of Applied Science, Germany); Tamara Bechtold (Universität Rostock, Germany); Dennis Hohlfeld (University of Rostock, Germany)
Dünnfilmverkapselungen für medizinische Anwendungen
Franz Selbmann, Nooshin Saeidi and Prahlad Mohandas (Fraunhofer ENAS, Germany); Mario Baum (Fraunhofer ENAS & ENAS, Germany); Maik Wiemer (Fraunhofer ENAS, Germany); Yvonne Joseph (TU Bergakademie Freiberg, Institute for Electronic and Sensor Materials, Germany); Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)
Implantable Wireless Ultra-low Power Data Logger for Temperature Measurements in Animal Brains
Simon Heller, Kim Allinger, Uwe Pelz and Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Zuverlässige, langzeitstabile Systeme für die Optogenetik
Linda Rudmann, Eva Fiedler, Marie T. Alt, Sebastian Huber and Annette Mittnacht (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Juan Ordonez (Indigo, Belgium); Thomas Stieglitz (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Fertigungsstrategien zur funktionserhaltenden und biokompatiblen Integration von IoT-Bauteilen in medizinisch relevante Kunststoffe
Valerie M. K. Werner (Technical University of Munich, Germany); Tanja Müller, Xiaoting Qi, Matthias Zeppenfeld and Markus Eblenkamp (Technische Universität München, Germany)
Integriertes System zur simultanen Detektion von Krankenhauskeimen und deren Antibiotikaresistenzen auf Einzelzellebene
Felix von Stetten (Hahn-Schickard); Nadine Borst (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany); Mara Specht, Martin Schulz, Nils Paust, Jia Li and Simon Wadle (Hahn-Schickard, Germany); Ulrike Götz (Hohenstein Laboratories GmbH & Co. KG, Germany); Evi Held-Föhn (Institut für Textil- und Verfahrenstechnik, Denkendorf, Germany); Wolf-Alexander Heiß (Forschungsinstitut Edelmetalle + Metallchemie, Germany); Florian Hausladen and Raphael Mader (Institut für Lasertechnologien in der Medizin an der Universität Ulm, Ulm, Germany); Karl Stock (Institut für Lasertechnologien in der Medizin an der Universität Ulm, Germany); Marcel Röder (Hahn-Schickard, Germany); Annerose Serr and Georg Häcker (Institut für Medizinische Mikrobiologie und Hygiene, Uniklinik Freiburg, Germany); Roland Zengerle (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany)
Herstellung von mikrostrukturierten Abutments zur Optimierung von Zahnimplantatsystemen
Patrick W Doll, Taleieh Rajabi and Ralf Ahrens (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Bruno Spindler (Fräszentrum Ortenau GmbH und Co. KG, Germany); Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)

P4: Aufbau- und Verbindungtechnik 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Silizium Einbett-Technologie mittel Wafer Level Packaging für GaN Leistungselektronik-Bauteilen
Charles-Alix Manier, Robert Gernhardt and Kai Zoschke (Fraunhofer IZM, Germany); Peter Moens (ON Semiconductor, Belgium); Hermann Oppermann (Fraunhofer IZM, Germany); Klaus-Dieter Lang (Technische Universität Berlin, Germany)
Innovatives hermetisches Packaging-Konzept für Laserdioden auf Waferebene
Vanessa Stenchly, Wolfgang Reinert and Hans-Joachim Quenzer (Fraunhofer ISIT, Germany)
Bleifreier Lotstapel für fluidische Selbstmontage von Siliziumchips
Mahsa Kaltwasser (Technische Universität Ilmenau, Germany); Shantonu Biswas (Technical University of Ilmenau, Germany); Thomas Stauden, Heiko Jacobs, Udo Schmidt and Andreas Bund (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Automatisierte Montage von Dehnungsmessstreifen auf nicht ebenen 3D-Flächen
Sebastian Sauer, Matthias Brozio and Arun Kumar (Fraunhofer IPT, Germany); Christian Schiek (Häcker Automation GmbH, Germany)
Verbindungstechnologien zur Herstellung hochpixelierter LED-Lichtquellen
Morten Brink and Hermann Oppermann (Fraunhofer IZM, Germany); Klaus-Dieter Lang (Technische Universität Berlin, Germany)

P5: Energy Harvesting und Power Management

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Heterogene Integration einer Miniatur-Solarzelle für autarke Sensoren
Christopher Krause, Martin Stühlmeyer, Martin Figge and Andreas Goehlich (Fraunhofer IMS, Germany); Holger Kappert (Fraunhofer institute of Microelectronic Circuits and Systems, Germany)
Development and performance analysis of an energy-autonomous VHF-beacon for animal-tracking
Eiko Bäumker, Florian Schüle and Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Frequency tunable energy harvester with segmented piezoelectric patches for improved power generation
Sofiane Bouhedma (Universität Rostock, Germany); Dennis Hohlfeld (University of Rostock, Germany)
Piezoelektrika für Energy-Harvester. Ein Vergleich
Erdem Yarar and André Piorra (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Simon Fichtner (Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Germany); Victor Tolstrup, Thomas Lisec and Tim Reimer (Fraunhofer ISIT, Germany); Fabian Lofink (Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Germany); Dirk Meyners (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Bernhard Wagner (Fraunhofer ISIT, Germany); Eckhard Quandt (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany)
Rotary Capacitor Measurement Setup for Evaluating the Internal Biasing of Electrostatic Energy Harvesters
Stefan Ciba (Hochschule Heilbronn, Germany); Alexander Frey (Hochschule für angewandte Wissenschaften Augsburg, Germany); Ingo Kuehne (Hochschule Heilbronn, Germany)
Ladezeitverkürzung von Batterien durch Nanostrukturierung der Elektrodenoberflächen
Konja Wick and Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)

P6: Messtechnik

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion
Diana Goller, Alexander Utz, Mohamed Makhlouf, Lutz Gendrisch, Stephan Kolnsberg, Franz Vogt and Dirk Weiler (Fraunhofer IMS, Germany); Holger Vogt (Fraunhofer IMS; EBS Universität Duisburg Essen)
MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung
Boris Goj (Technische Universität Ilmenau, Germany); Sebastian Bohm (Technische Universitaet Ilmenau & FIVEmicrons GmbH, Germany); Lars Dittrich (Technische Universitaet Ilmenau, Germany); Lothar Dressler, Michael Kühnel and Thomas Fröhlich (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme
Sebastian Bohm (Technische Universitaet Ilmenau & FIVEmicrons GmbH, Germany); Boris Goj (Technische Universität Ilmenau, Germany); Lars Dittrich (Technische Universitaet Ilmenau, Germany); Lothar Dressler (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Beiträge zur In-Situ Sensorik für die Inspektion von Kontaktstellen an Leistungshalbleitern
Michael Schaulin, Steffen Junker, Martin Oppermann, Volkmar Norkus and Thomas Zerna (Technische Universität Dresden, Germany)
Entwicklung und Aufbau eines Tribometers zur anwendungsnahen Charakterisierung von Reibschichten für eine Positionssensorik
Christian Vetter (Hochschule Kaiserslautern, Germany); Franz-Josef Braun and Heiko Knoll (Sensitec GmbH, Germany); Jean-Pierre Mutuyimana (Hochschule Kaiserslautern, Rwanda); Christof Sailer (Sensitec GmbH, Germany); Martin Theis and Monika Saumer (Hochschule Kaiserslautern, Germany)
Charakterisierung der Zuverlässigkeit in der High-K Metal Gate Technologie
Maximilian Drescher (Fraunhofer IPMS, Germany); Elke Erben, Carsten Grass and Martin Trentzsch (Globalfoundries Modul One LLC Co. KG, Germany); Florian Lazarevic, Roman Leitsmann and Philipp Plänitz (AQcomputare GmbH, Germany); Teimuraz Mchedlidze (Technische Universität Dresden, Germany); Konrad Seidel and Romy Liske (Fraunhofer IPMS, Germany); Johann Wolfgang Bartha (Technische Universität Dresden)
Multi-window Transmission Electron Microscopy liquid cell to improve imaging performance
Deybith Venegas-Rojas (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany & Instituto Tecnológico de Costa Rica, Costa Rica); Sercan Keskin, Sana Azim, Stephanie Manz and R. J. Dwayne Miller (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Hoc Khiem Trieu (Hamburg University of Technology, Germany)
Miniaturroboter für die Rohranalyse
Christof Megnin, Daniel Schillinger, Karl Lappe, Christoph Grandauer and Konstantin Hoffmann (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Ann-Katrin Leiting (Université de Strasbourg, France); Jan Mahler (Sick AG, Germany); Yiannos Manoli (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)

P7: Mikroaktorik 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
3D Micro-machined Inductive Suspensions with the Lowest Energy Consumption
Kirill Poletkin (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Mikropfeifen für selbständiges Wohnen im Alter
Felix Beckmann, Johannes Sackmann and Werner Karl Schomburg (RWTH Aachen, Germany)
Optische Greifkraftsensorik aus SU-8 für Mikrogreifer
Benjamin Gursky, Mayra Garcés-Schröder, Monika Leester-Schädel, Markus Böl and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Folienbasierte Mikroaktoren aus Formgedächtnislegierung
Christof Megnin (memetis GmbH, Germany); Songxiang Wu, Hinnerk Ossmer, Marcel Gültig, Christoph Wessendorf and Manfred Kohl (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Mikroaktorik für ein Taktiles Display
Eike C Fischer and Anatoly Glukhovskoy (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Andreas Schmelt and Jens Twiefel (IHP, Germany); Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter
Evgenii N. Pyatishev (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, Russia); Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Yakov B. Enns (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, Russia); Anatoly Glukhovskoy and Eike C Fischer (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Andrey Odintsov and Roman Kleimanov (Peter the Great Saint-Petersburg Polytechnic University, Russia)

P8: Mikrofluidik 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
The LabCard - A new approach for centrifugal assay automation
Markus Rombach (Hahn-Schickard, Germany)
Herstellung eines optofluidischen Chips zur hydrodynamischen Immobilisierung und Detektion von Bakterien
Jan Busche and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany); Thomas P Burg (Max Planck Institut für Biophysikalische Chemie, Germany); Margherita Bassu (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Foelke Jürgens (Technische Universität Braunschweig, Germany)
HepaChip-MWP - a novel tool for microfluidic organ-like, continuously perfused liver co-cultures towards application in pre-clinical drug testing
Olena Tomilova, Nicola Groll, Simon Werner, Britta Hagmeyer, Michael Pawlak and Julia Schütte (Eberhard Karls Universität Tübingen, Germany); Holger Becker (microfluidic ChipShop GmbH, Germany); Juliane Schnabel (Microfluidic ChipShop GmbH, Germany); Karsten Gall and Roland Hemmler (Ionovation GmbH, Germany); Rolf Gebhardt and Jan Böttger (University Leipzig, Germany); Martin Stelzle (Eberhard Karls Universität Tübingen, Germany)
Automated particle based C-reactive protein immunoassay with on-disk pre-stored reagents and centrifugo-pneumatic liquid control
Yunpeng Zhao, Gregor Czilwik, Vanessa Klein and Konstantinos Mitsakakis (Hahn-Schickard, Germany); Roland Zengerle (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany); Nils Paust (Hahn-Schickard, Germany)
Charakterisierung und Manipulation magnetischer Nanofluide im externen Magnetfeld
Jörg Fusenig (Hochschule Trier, Fachrichtung Elektrotechnik, Germany); Tobias Roth, Dara Feili and Michael Baltes (Hochschule Trier, Germany); Svenja Deuster (Hochschule Trier, Fachrichtung Elektrotechnik, Germany); Hellmut Hupe (Hochschule Trier, Germany); Nazende Günday Türeli (MJR PharmJet GmbH, Germany); Marc Schneider (Universität des Saarlandes, Germany)
Automatisiertes mikrofluidisches System zur Hochdurchsatz DNA-Ligation
Daniela Sánchez, Sepand Rastegar, Vanessa Gerber, Ralf Ahrens, Uwe Strähle and Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)

P9: Mikro-Nano-Integration 1

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Template-Realized Functional Nanostructures for Energy Conversion and Storage Devices
Yong Lei, Huaping Zhao and Yang Xu (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Untersuchung von dreidimensionalen Nanoelektroden für die intrazelluläre Kontaktierung auf integrierten Schaltungen
Sonja Allani, Andreas Jupe, Martin Figge and Andreas Goehlich (Fraunhofer IMS, Germany); Holger Vogt (Fraunhofer IMS & EBS Universität Duisburg Essen, Germany); Holger Kappert (Fraunhofer institute of Microelectronic Circuits and Systems, Germany)
Integrationstechnik für ZnO-Nanopartikel-Dünnschichttransistoren
Julia Reker, Thorsten Meyers, Fabio Vidor and Ulrich Hilleringmann (Universität Paderborn, Germany)
Nanostrukturierte Beugungsgitter für integrierte Metrologie
Mohamed Bichra, Lutz Müller and Patrick Fesser (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany); Stefan Sinzinger (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Mikromechanische Testplattform zur In-Situ-Charakterisierung nanostrukturierter Funktionsbauteile
Randy Fechner and Manfred Kohl (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Modellierung axial verspannter CNT-Transistoren für Sensoren
Christian Wagner (Technische Universität Chemnitz, Germany); Jörg Schuster (Fraunhofer ENAS, Germany)

Dienstag, 24. Oktober 16:10 - 17:50

3.1: Medizinische Anwendungen

Raum: Alpsee
Chairs: Helmut Seidel (Universität des Saarlandes, Germany), Thomas Velten (Fraunhofer Institute for Biomedical Engineering, Germany)
16:10 Syntheseroboter für die kostengünstige Synthese vieler diagnostischer Peptide
Valentin Haas and Immanuel Riemer (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Felix Löffler (Max Planck Institute of Colloids and Interfaces, Germany); Frank Breitling and Alexander Nesterov-Müller (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
16:30 Multiparametrisches telemetrisches Gewebemonitoring - Entwicklung einer Mikrosensorsonde zur kontinuierlichen Überwachung nach mikrochirurgischem Gewebetransfer
Simon Werner, Peter D Jones, Kai Fuchsberger, Gerhard Heusel, Katharina Neufeld and Jonas Schuff (Eberhard Karls Universität Tübingen, Germany); Thomas Derfuss (LEA Medizintechnik GmbH, Germany); Clemens Boucsein (Multichannelsystems GmbH, Germany); Andreas Pojtinger (2E mechatronic GmbH & Co. KG, Germany); Sigmar Reinert (Universitätsklinikum Tübingen, Germany); Joachim Polligkeit (5UKT Universitätsklinikum Tübingen, Germany); Martin Stelzle (Eberhard Karls Universität Tübingen, Germany)
16:50 Rapid Prototyping mikrofluidischer Chips in Polymethylmethacrylat mittels maskenloser Lithographie
Frederik Kotz (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Patrick Risch (Universität Freiburg & Institute of Microstructure Technology, Germany); Bastian Rapp (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
17:10 Integration konischer Nanoporen in Lab-on-Chip-Systeme für die Histamin-Analyse
Mario El Khoury and Ivana Duznovic (Technische Universität Darmstadt, Germany); Mubarak Ali (GSI Helmholtzzentrum für Schwerionenforschung, Germany); Wolfgang Ensinger and Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)
17:30 Neuronale Implantate zur Rückkopplung sensorischer Größen verbessern die Mensch-Technik-Interaktion in der Prothetik
Thomas Stieglitz, Paul Cvancara and Matthias Mueller (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Tim Boretius (Neuroloop GmbH, Germany); Patrick Kiele (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Cristian Pasluosta (IMTEK, University of Freiburg, Germany); Stanisa Raspopovic (EPFL, Switzerland); Guiseppe Granata (Universita Cattolica Sacre Cuore, Germany); David Guiraud (INRIA & LIRMM, France); Xavier Navarro (Universitat Autonoma de Barcelona, Germany); Silvestro Micera (Scuola Superiore Sant'Anna, Italy)

3.2: Bio und Chemische Sensorik

Raum: Ammersee 1
Chairs: Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany), Peter Hauptmann (University Magdeburg, Germany)
16:10 Überwachung der Dichteänderung während der Weinfermentation mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren
Georg Pfusterschmied (Technische Universität Wien, Österreich, Austria); Martin Kucera (Technische Universität Wien & AC2T Research GmbH, Austria); Wolfgang Steindl, Achim Bittner, Michael Schneider and Ulrich Schmid (Technische Universität Wien, Österreich, Austria)
16:30 Dynamic fluorescence measurements on DNA microarrays in foil-based microfluidics using multichannel Silicon Photomultipliers
Anna Ohlander, Andrej Seb and Indranil Bose (Fraunhofer EMFT, Germany); Thomas Ganka and Florian Wiest (KETEK GmbH, Germany); Christoph Kutter (Fraunhofer EMFT, Germany)
16:50 Entwicklung eines mikromechanischen kapazitiven Schalldetektors im resonanten Betrieb für die photoakustische Spurengasanalyse
Andreas Zagler (Ostbayerische Technische Hochschule (OTH) Regensburg); Ferdinand Landgraf (Ostbayerische Technische Hochschule (OTH) Regensburg, Germany); Thomas Rück and Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
17:10 miniaturisierte Laserlichtquelle für Infrarotspektroskopie
André Merten and André Dreyhaupt (Fraunhofer IPMS, Germany); Stefan Hugger and Lorenz Butschek (Fraunhofer IAF, Germany); Jan Grahmann and Markus Schwarzenberg (Fraunhofer IPMS, Germany); Ralf Ostendorf, Jan Jarvis and Marko Härtelt (Fraunhofer IAF, Germany)
17:30 Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren
Lutz Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany); Konrad Maier and Andreas Helwig (Airbus Group SE, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)

3.3.: Mikroaktorik II

Raum: Ammersee 2
Chairs: Martin Richter (Fraunhofer EMFT, Germany), Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
16:10 Piezoelectrically driven and sensed micromirrors with extremely large scan angles and precise closed-loop control
Shanshan Gu-Stoppel, Thorsten Giese, Hans-Joachim Quenzer, Ulrich Hofmann and Wolfgang Benecke (Fraunhofer ISIT, Germany)
16:30 Entwicklung eines bionisch inspirierten, mikro-mechanischen Biegewandlers für effizienten fluidischen Massentransport
Regine Behlert (Technische Universität München, Germany); Hannes Mehner (Technische Universität Ilmenau, Germany); Robert Wieland (Fraunhofer EMFT, Germany); Gabriele Schrag and Matthias Gehring (Technische Universität München, Germany)
16:50 Low fluidic resistance valves utilizing buckling actuators
Ardavan Shabanian, Frank Goldschmidtboeing, Chiranjeevi Chandrahas Dhananjaya, Hitesh Gowda Bettaswamy Gowda, Eiko Baeumker and Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
17:10 Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren
Roland Dörr and Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)
17:30 CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Holger Conrad (Fraunhofer IPMS, Germany); Matthieu Gaudet (University of Oldenburg, Germany); Bert Kaiser, Sergiu Langa, Michael Stolz and Harald Schenk (Fraunhofer IPMS, Germany)

3.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme II

Raum: Chiemsee
Chairs: Lothar Frey (Fraunhofer IISB, Germany), Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
16:10 Mikro-elektromechanisches Elektroniksystem zur Zustandsüberwachung in der Industrie 4.0
Ricardo Ehrenpfordt (Robert Bosch GmbH, Germany)
16:30 Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren zur präzisen Steuerung von Produktionsanlagen
Johannes Paul, Heiko Knoll and Christof Sailer (Sensitec GmbH, Germany); Claudia Glenske (Fundamental R&D, Germany); Sönke Felix-Henningsen and Martin Lang (Sensitec GmbH, Germany); Kai Zoschke and Hermann Oppermann (Fraunhofer IZM, Germany); Martin Theis, Christian Vetter and Monika Saumer (Hochschule Kaiserslautern, Germany); Fabian Lofink (Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Germany); Dirk Meyners (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Peter Frank (Sandvik Tooling Supply Schmalkalden, Germany); Andreas Lenkl (Märzhäuser Sensotech GmbH, Wetzlar, Germany); Fabian Klose (Märzhauser GmbH, Germany); Jörg Eichholz (Fraunhofer ISIT, Itzehoe, Germany)
16:50 Freiformsensorik für Smart-Items-Infrastrukturen in Produktionsumgebungen
René Grünke (Schaeffler AG, Germany)
17:10 Der multisensorische Werkzeughalter
Matthias Brozio and Sebastian Sauer (Fraunhofer IPT, Germany); Hilmi Yavuz and Mirko Lütgens (Montronix GmbH, Germany); Manuel Salvasohn (Mapal Dr Kress KG, Germany); David Berthold (EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, Germany); Christian Schiek (Häcker Automation GmbH, Germany)
17:30 Produktfähige autarke und sichere Foliensysteme für Automatisierungslösungen in Industrie 4.0
Stefan Saller, Tobias Pfeiffer and Daniel Kersten (Festo AG & Co. KG, Germany); Matthias Mahlich and Cristian Nagel (Robert Bosch GmbH Renningen, Germany); Thorsten Hehn and Dieter Mintenbeck (Hahn-Schickard, Germany); Thomas Deuble (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany); Ulrike Rödig and Antonio Escobar-Molero (Infineon Technologies AG, Germany); Ingo Freund (Micronas GmbH, Germany); Marianne Schäfer (TDK-Micronas GmbH, Germany); Günther Lippold (RoodMicrotec GmbH, Germany); David Rahusen (Stackforce GmbH, Germany); Alina Schreivogel (Würth Elektronik GmbH, Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)

Dienstag, 24. Oktober 19:30 - 22:30

Abendveranstaltung

Raum: Löwenbräukeller

Mittwoch, 25. Oktober

Mittwoch, 25. Oktober 8:45 - 9:00

Begrüßung

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Mittwoch, 25. Oktober 9:15 - 9:30

Keynote 1

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Mittwoch, 25. Oktober 9:30 - 9:45

Keynote 2

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Mittwoch, 25. Oktober 9:45 - 10:20

Preisverleihung

Raum: Plenum (Ballhausforum)

Mittwoch, 25. Oktober 10:20 - 10:50

Kaffeepause

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Mittwoch, 25. Oktober 10:50 - 12:10

4.1: Mikrofluidik I

Raum: Alpsee
Chairs: Roland Zengerle (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany), Klaus Drese (Coburg University of Applied Sciences and Arts, Germany)
10:50 Vertical Nanoslit Arrays for Separating Molecules by Size and Charge
Margherita Bassu (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Peter Holik and Sam Schmitz (Center of Advanced European Studies and Research, Germany); Siegfried Steltenkamp (Forschungszentrum Caesar, Germany); Thomas P Burg (Max Planck Institut für Biophysikalische Chemie, Germany)
11:10 3D-Flow-Focusing-Emulgiersystem für die Kristallisation und Konzentrierung von Nanopartikeln pharmazeutischer Wirkstoffe
Thomas Lorenz and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
11:30 Mikroinkubator mit Hydrogelmembranen für die Langzeitkultivierung von Säugetierzellen
Frank Bunge, Sander van den Driesche and Michael J Vellekoop (Universität Bremen, Germany)
11:50 EWOD System für optische Schalter
Sarah Günther (Technische Universität Ilmenau, Germany); Csaba Endrödy (Technische Universitaet Ilmenau, Germany); Shuhao Si and Sebastian Gropp (Technische Universität Ilmenau, Germany); Stefan Weinberger (X-FAB MEMS Foundry Itzehoe GmbH, Germany); Herbert D'heer (Ghent University - imec, Belgium); Dries Van Thourhout (INTEC Department, Photonics Research Group, Ghent University, Belgium); Anna Neft (Bartels Mikrotechnik GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)

4.2: Sensorik für physikalische Größen

Raum: Ammersee 1
Chairs: Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany), Christina Leinenbach (Robert Bosch GmbH, Germany)
10:50 Thermischer Massenflusssensor mit Pt-Dünnschicht-Elementen
Christoph Hepp, Patrick Grob, Tomas Ciesla and Niklaus Kränzlin (Innovative Sensor Technology IST AG, Switzerland)
11:10 Kompakter Wellenlängensensor für Hochgeschwindigkeitsauslese von Faser-Bragg-Gittern
Hans-Georg Ortlepp, Michael Hintz, Kristin Neckermann, Dennis Mitrenga, Stefan Görlandt, Christoph Heinze and Andreas T Winzer (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
11:30 Mikrosensor zur Bestimmung der Lichteinfallsrichtung
Dennis Mitrenga, Martin Schädel, Stefan Völlmeke, Klaus-Dieter Preuß, Andreas T Winzer and Christian Möller (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
11:50 Gedünnte kapazitive Silizium-Drucksensoren in flexiblen und dehnbaren extra weichen Substraten für haptische Messungen; Untersuchungen zur Kompensation der Biegeabhängigkeit des Sensor-Output-Signals
Roland Fischer (RWTH Aachen University, Germany); Lisa Weichsel and Wilfried Mokwa (RWTH Aachen, Germany); Michael Görtz (Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme, Germany)

4.3: Systemintegration

Raum: Ammersee 2
Chairs: Karin Bauer (Universität des Saarlandes, Germany), Claas Müller (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
10:50 Hybride Systeme in Folie (HySiF) mittels Adaptivem Layout und einem Laserdirektschreiber für die Herstellung von Prototypen
Björn Albrecht, Golzar Alavi, Mahadi Hassan, Saleh Ferwana, Holger Sailer and Christine Harendt (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
11:10 Elektrochemische Pulsstromabscheidung von Kupfer für Si-Durchkontakte in MEMS: Experiment und Simulation
Lutz Hofmann (Fraunhofer ENAS, Germany); Andreas Zienert (Technische Universität Chemnitz & Fraunhofer ENAS, Germany); Jörg Schuster (Fraunhofer ENAS, Germany); Stefan E. Schulz (Chemnitz University of Technology & Fraunhofer ENAS, Germany)
11:30 BiCMOS Embedded Microfluidic Technology Based on Wafer Bonding Techniques for Biosensor Applications
Mesut Inac (IHP - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik, Germany & Technische Universität Berlin, Germany); Matthias Wietstruck, Alexander Göritz, Barbaros Cetindogan, Canan Baristiran-Kaynak, Steffen Marschmeyer, Mirko Fraschke, Thomas Voß and Andreas Mai (IHP, Germany); Cristiano Palego (Bangor University, United Kingdom (Great Britain)); Arnaud Pothier (Univ Limoges - CNRS - XLIM UMR7252, France); Mehmet Kaynak (IHP, Germany & IHP Microelectronics, Turkey)
11:50 Miniaturized Actuators in Cooperative Systems for Separation Control
Karin Bauer and Markus Blechschmidt (Universität des Saarlandes, Germany)

4.4: Industrie invited

Raum: Chiemsee
Chairs: Margarete Zoberbier (SUSS Micro Tec Lothography GmbH, Germany), Roland Werthschützky (Technische Universität Darmstadt, Germany)

Mittwoch, 25. Oktober 12:10 - 13:00

Mittagessen

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)

Mittwoch, 25. Oktober 13:00 - 14:30

P12: Aufbau- und Verbindungtechnik 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Kompakte Faserankopplung für einen extrem kleinen Einzelphotonendetektor
Christian Möller, Kristin Neckermann and Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
Flying Dies im Fan Out Wafer Level Package
Stefan Raatz, Tanja Braun, Karl-Friedrich Becker, Joerg Bauer, Ole Hölck, Ruben Kahle, Volker Bader and Tina Thomas (Fraunhofer IZM, Germany); Steve Voges (Technische Universität Berlin, Germany); Rolf Aschenbrenner (Fraunhofer IZM, Germany); Klaus-Dieter Lang (Technische Universität Berlin, Germany)
Herstellung von LED-Beleuchtungsmodulen mittels innovativer Flip-Chip Technologie
Lena Goullon (Fraunhofer IZM, Germany)
Mikrostrukturelle Veränderungen in Gold-Zinn- und Kupfer-Zinn-Bumps nach Wärmebehandlung bei bis zu 300 °C
Lena Goullon, Matthias Hutter and Felix Schmeiser (Fraunhofer IZM, Germany)
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten
Sebastian Beringer (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Dragan Dinulovic (Würth Elektronik eiSos GmbH und Co. KG, Germany); Sebastian Bengsch (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany); Martin Haug (Würth Elektronik eiSos GmbH und Co. KG, Germany); Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen
Andreas Heid and Lukas Scheuble (Hochschule Furtwangen, Germany); Rene P. von Metzen (NMI Natural and Medical Sciences Institute, Germany); Volker Bucher (Hochschule Furtwangen, Germany)
Dünnglas-basierter Aufbau von elektrisch-optischen Hybrid-Systemen
Gunnar Böttger, Daniel Weber and Henning Schröder (Fraunhofer IZM, Germany); Martin Schneider-Ramelow (Fraunhofer IZM & TU Berlin, Germany)

P13: Bio und Chemische Sensorik

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Development of an Extended Gate Field Effect Transistor (EGFET) based low-cost pH sensor
Naser Mokhtarifar, Frank Goldschmidtboeing and Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Interdigitaltransducer als Oberflächenwellen-basierter Impedanzsensor
Vu Hoa Nguyen, Uwe Schnakenberg, Corinna Kaulen and Ulrich Simon (RWTH Aachen, Germany)
A Replaceable Bioreactor Array for Monitoring Mold Spore Contamination in Archives
Poornachandra Papireddy Vinayaka and Roland Blank (Universität Bremen, Germany); Mathias Frodl (Microfab gmbh, Germany); Muhammad Waseem Tahir, Nayyer Abbas Zaidi, Sander van den Driesche, Martin Oellers, Walter Lang and Michael J Vellekoop (Universität Bremen, Germany)
Mikro-Opto-Elektro-Mechanisches Sensorsystem zur Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie
Peter Hausler (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg & Sensorik-Applikationszentrum (SappZ), Germany); Carina Roth and Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Thomas Hirsch and Christa Genslein (Universität Regensburg, Germany)
In situ Messung der Konzentrationsverteilung von H2, O2, und H2O2 in Mikroreaktoren für die H2O2-Direktsynthese mit miniaturisierten elektrochemischen Sensoren
Sebastian Urban (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Benedikt J. Deschner (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Andreas Weltin (University of Freiburg, Germany); Manfred Kraut and Roland Dittmeyer (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Gerald Urban (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
„Smart Apple" - Wireless Smart Sensor System
Christoph Mayer, Matic Krivec and Raimund Leitner (CTR AG, Austria); Dieter Maier and Roland Waldner (Philips Consumer Lifestyle Klagenfurt, Austria)
Label-freie bildgebende Echtzeitdetektion von Molekül-Molekül-Interaktionen auf Mikroarrays
Jürgen Burger, Philipp Meyer, Johannes Woehrle, Christin Rath, Tobias Herz, Normann Kilb and Stefan Kraemer (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Guenther Proll (Biametrics GmbH, Germany); Guenter Roth (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Portable photoakustische Messeinheit zur NO2 Detektion im Spurengasbereich
Peter Gaida and Stefan Weigl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Simon Gassner (Infineon Technologies AG & Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Thomas Rück and Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)

P14: Materialien und Technologien

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Fluor-basiertes Plasmatiefenätzen von Zerodur für mikrotechnische Anwendungen
Christoph Weigel (Technische Universität Ilmenau, Germany); Wolfgang Schonefeld (Sinn Spezialuhren GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Galvanische Abscheidung von Aluminium für die Mikrosystem- und Leiterplattentechnik
Silvia Hertel, Dirk Wünsch, Maik Wiemer and Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)
3-dimensionale Mehrlagenkeramik-Module
Manja Kloska, Heike Bartsch and Jens Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany); Thomas Haas and Christian Zeilmann (Micro Systems Engineering GmbH, Germany)
High Intensity UV-LED Mask Aligner for Applications in Industrial Research
Katrin Schindler and Ulrich Leischner (SUSS MicroTec Lithography GmbH, Germany); Christina Lopper (Fraunhofer IZM, Germany); Paul Kaiser, Thomas Striebel and Ulrike Schömbs (SUSS MicroTec Lithography GmbH, Germany)
High aspect ratio silver nanowires for flexible conductive networks with high optical transparency as electrodes for mechanical actuators
Stefan Schierle, Peter Woias and Frank Goldschmidtboeing (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage
Daniel Klaas, Florian Pehrs and Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
Shrinkage of periodic nanopatterns with tunable feature sizes
Shuhao Si (Technische Universität Ilmenau, Germany); Lars Dittrich (Technische Universitaet Ilmenau, Germany); Christoph Weigel (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany)
Analyse und Optimierung des ECDM Prozesses von Gläsern
Lars Pauls and Claas Mueller (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
3D Strukturierung von Silizium mittels Grauwert-Technologie
Uma Muthiah (Hochschule Furtwangen, Germany); Isman Khazi (Hochschule Furtwangen & Institut für Mikrosystemtechnik (iMST), Fakultät Mechanical & Medical Engineering, Germany); Ulrich M Mescheder (Hochschule Furtwangen, Germany)
Ultrakurzpulslaserfertigung von Mikroantrieben aus Formgedächtnislegierungen
Mayra Garcés-Schröder, Monika Leester-Schädel, Benjamin Gursky, Markus Böl and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Herstellung keramischer Mikroreaktoren im Spritzgussverfahren
Anna Medesi, Dorit Nötzel, Sandra Schlehahn, Kilian Pursche and Michael Türk (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany)
Silicium-Keramik-Verbundsubstrat für einen HF-MEMS Oszillator
Sebastian Gropp, Johannes Stegner and Michael Fischer (Technische Universität Ilmenau, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany); Uwe Stehr and Jens Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany); Matthias Hein (Ilmenau University of Technology, Germany)
Mikrozerspanung als maskenlose Alternative zu reinraumgebundenen Mikrofertigungsverfahren im Forschungsbetrieb
Michael Stopp (Universität des Saarlandes, Germany); Patrick Klär (Hochschule Kaiserslautern, Germany)
MEMS-basierter Elektrospray-Chip zur Materialabscheidung
Natalie Pagel and Helmut Seidel (Universität des Saarlandes, Germany); Dara Feili (Hochschule Trier, Germany); Karin Bauer (Universität des Saarlandes, Germany)
Licht geleitete elektrophoretische Abscheidung von BaTiO3
Markus Mauck (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany); Claas Müller (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Fs-Laser induzierte Ätzstrukturen in Foturan für hoch parallelisierte Mikroreaktoren
Sven Meinen, Lasse Frey, Rainer Krull and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Prozessentwicklung für das Mikropulverspritzgießen kurzfaserverstärkter Oxid-Oxid-Komposite
Hasan Metin Tülümen and Benjamin Ehreiser (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Thomas Hanemann (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany); Michael J. Hoffmann, Rainer Oberacker and Volker Piotter (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
2D-Materialien basierende MEMS
Stefan Wagner (RWTH Aachen, Germany); Satender Kataria and Max C Lemme (Universität Siegen, Germany)

P15: Mikroaktorik 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Analytische Modellierung von kreisförmigen, bistabilen Membranen mit unterschiedlichen, geometrischen Abmessungen
Manuel Dorfmeister, Richard Pfister, Michael Schneider and Ulrich Schmid (Technische Universität Wien, Österreich, Austria)
Strömungsbeeinflussung durch stehende akustische Wellen und Umsetzung mittels mikrotechnischer Ultraschall-Arrays
Christian Kiefer, Daniel Gillo and Karin Bauer (Universität des Saarlandes, Germany); Dara Feili (Hochschule Trier, Germany); Helmut Seidel (Universität des Saarlandes, Germany)
Kapazitive mikromechanische Ultraschallsysteme (CMUT) für die zerstörungsfreie Prüfung und Überwachung
Sandro G. Koch, Nicolas Lange, Marco Kircher, Marcel Krenkel, Mario Grafe, Dirk Rudloff and Joerg Amelung (Fraunhofer IPMS, Germany)
Modeling Shear Stress and Oxygen Concentration for Optimization of Micropillars Microbioreactors
Deybith Venegas-Rojas (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany & Instituto Tecnológico de Costa Rica, Costa Rica); Jens Budde (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany); Dominik Noerz and Manfred Juecker (Universitätsklinikum Hamburg-Eppendorf, Germany); Hoc Khiem Trieu (Hamburg University of Technology, Germany)
Motion analyzer for characterization of micro actuators with movements in 3 degrees of freedom
Christian Nakic and Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)

P16: Mikrofluidik 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Sprayganik - Spraytool für organische Elektronik
Michael Betz (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg); Alfred Lechner (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
Schlauchbasierte Einwegpumpen und -ventile für mikrofluidische Anwendungen
Andreas Loth and Ralf Förster (Beuth HS für Technik Berlin, Germany)
Low-Cost Fabrikation neuartiger Organ-on-a-Chip Systeme als Alternative zur Softlithografie
Eugen Koch, Jonathan Kottmeier, Andreas Dietzel, Verena Ledwig and Stephan Reichl (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Mikrospritzgusstechnik für die automatisierte Zellseparation
Joachim Bertram (IBA GmbH, Germany)
Fabrikation und Analyse von deterministic lateral displacement (DLD) - Systemen zur Partikelsortierung bei Re > 1
Jonathan Kottmeier, Arno Kwade and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Fertigung von modularen mikrofluidischen Bioreaktoren zur Synthese von pflanzlichen Sekundärmetaboliten
Tim Finkbeiner, Ralf Ahrens, Jan Maisch, Manish Raorane and Christina Manz (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); David Ullisch, Jan Lenke and Gilbert Gorr (Phyton Biotech GmbH, Germany); Peter Nick and Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Keramische Mikro-Plasmaquelle für die selektive Behandlung von Zellkulturen
Michael Fischer (Technische Universität Ilmenau, Germany); Ady Naber (Karlsruhe Institute of Technology (KIT), Germany); Mike Stubenrauch (Technische Universität Ilmenau, Germany); Nam Gutzeit (eCeramix GmbH & Technische Universität Ilmenau, Germany); Maren Klett, Andreas Schober, Hartmut Witte and Jens Müller (Technische Universität Ilmenau, Germany)
Mikrofluidischer Chip zur in vitro-Diagnostik von Infektionskrankheiten
Taleieh Rajabi, Helena Melzer, Ralf Ahrens and Maryam Aalami (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany); Guido Böse (Zendia GmbH, Germany); Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)

P17: Mikro-Nano-Integration 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Modellierung einer siliziumbasierten Membran für die Brennstoffzellen-Anwendung
Shen-Huei Sun (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Florian Letzkus (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany); Georg Dura (Zentrum für BrennstoffzellenTechnik GmbH, Germany); Konstantin Obertun (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany)
Gewitter im Chip - Resistive Speicher für low-power Anwendungen
Konrad Seidel, Stefan Riedel, Mamathamba Kalishettyhalli Ma, Patrick Polakowski and Johannes Müller (Fraunhofer IPMS, Germany)
Piezoresistive Eigenschaften p- und n-dotierter polykristalliner Siliziumschichten
Michael Blech and Dominik Karolewski (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany); Robert Täschner and Hartmut Übensee (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH); Geert Brokmann (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany); Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH)
Organische Dünnschichttransistoren für AMOLED-Applikationen
Thorsten Meyers, Joachim Vollbrecht, Fabio Vidor, Julia Reker, Heinz-Siegfried Kitzerow and Ulrich Hilleringmann (Universität Paderborn, Germany)
Integration von „bottom-up"-gewachsenen Silizium-Nanodrähten in Rastersonden für „lab-on-a-tip"-Sensorik
Michael Roos, Arezo Behroudj, Madeleine Nilsen and Steffen Strehle (Universität Ulm, Germany)
Thermal Noise in Ideal Micro-machined Levitated Gyroscope
Kirill Poletkin (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
Optimierung industrieller Mikrosysteme mit Hilfe maßgeschneiderter Modelle: Systemsimulation eines Silizium-Mikrophons
Gabriele Schrag and Gerhard Wachutka (Technische Universität München, Germany); Thomas Künzig (Infineon Technologies AG, Germany)
Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission
Johannes Bieker and Farough Roustaie (Technische Universität Darmstadt, Germany); Christoph Langer (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Rupert Schreiner (OTH Regensburg, Germany); Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany)
Integration of MEMS models in simulations on electronic system level
Tino Blochmann, Peter Schneider and Stephan Gerth (Fraunhofer IIS, Germany)

P18: Optische MEMS

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Robuste adaptive Linsen mit Silikon- und Glasmembranen
Moritz Stürmer, Matthias C Wapler and Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Adaptive Spiegel mit asphärischer Korrektur für Miniatur-Spiegellinsenobjektive mit langer Brennweite
Matthias C Wapler, Florian Lemke, Gazmed Alia and Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Integrierte Multispektralsensoren in CMOS-Technologie
Stephan Junger and Nanko Verwaal (Fraunhofer IIS, Germany); Rico Nestler (Zentrum für Bild- und Signalverarbeitung, Germany); Daniel Gäbler (X-FAB Silicon Foundries SE, Germany)
Zweifarbige Optrode basierend auf ungehäusten Laserdioden und hybridpolymeren Wellenleitern für optogenetische Anwendungen
Michael Schwaerzle, Patrick Ringwald, Oliver Paul and Patrick Ruther (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
Miniaturisierte Anregungsquelle für die Fluoreszenzlebensdauermessung
Christian Möller, Andreas T Winzer, Hans-Georg Ortlepp, Christoph Heinze and Thomas Ortlepp (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
Extrem miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor
Jonathan Seybold, André Bülau and André Zimmermann (Hahn-Schickard, Germany); Alexander Frank (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany); Cor Scherjon (Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Germany); Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
Innovatives nanoskalares Metallschichtsystem trifft wärmesensible Laserdiode oder von der Anwendung einer reaktiven Raum-Temperatur-Verbindungstechnologie am Beispiel einer miniaturisierten optischen Baugruppe
Jan Freitag (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany); Indira Käpplinger (Siegert Thinfilm Technology GmbH, Germany); Klaus Vogel (Fraunhofer ENAS, Germany)
Integration von SMD-LEDs in elektrisch-optische Leiterplatten für Sensoranwendungen
Jendrik Schmidt (Universität Rostock, Germany); Ekaterina Sergeeva (Universität Rostock & VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Germany); Haldor Hartwig (Universität Rostock, Germany); Dennis Hohlfeld (University of Rostock, Germany)
Mikrotechnisch hergestellte Strahlteileraufnahme zur Verwendung in einem optischen Gyroskop
Ingmar Leber and Thalke Niesel (Technische Universität Braunschweig, Germany); Christian Werner, Liang Yu and Jens Flügge (Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Germany); Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
Schmalbandige photonische Kristalle für Multispektral-Analyse
Andras Kovacs (Hochschule Furtwangen, Germany); Alexey Ivanov (Fraunhofer Institut für Solar Energiesysteme); Ullrich Mescheder (Hochschule Furtwangen University)

P19: Sensorik für physikalische Größen 2

Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Robuster Vibrationssensor zur Zustandsüberwachung an Schienenfahrzeugen
Michael Pleul and Christoph R. Meinecke (Technische Universität Chemnitz, Germany); Petra Streit (Fraunhofer Institut ENAS, Germany); Rene Kürschner (AMAC ASIC- und Mikrosensoranwendung Chemnitz GmbH, Germany); Jonas Albers (Lenord, Bauer & Co. GmbH, Germany); Eric Schubert (AMAC ASIC- und Mikroanwendungen Chemnitz GmbH, Germany); Danny Reuter (Technische Universität Chemnitz, Germany); Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)
Faseroptisches Sensorarray aus PDMS zur Ermittlung lokaler Druckbelastung beim Coiling intrakranieller Aneurysmen
Sohrab Shojaei Khatouni (Technische Universität Hamburg, Germany); Kristina Kaiser (Technische Universität Hamburg-Harburg, Germany); Hoc Khiem Trieu (Hamburg University of Technology, Germany)
Einbindung eines 2D-Photodetektors in einen hochintegrierten SPR-Imaging-Sensor
Carina Roth (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany); Peter Hausler (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg & Sensorik-Applikationszentrum (SappZ), Germany); Rudolf Bierl (Ostbayerische Technische Hochschule Regensburg, Germany)
Entwicklung elektrochemisch abgeschiedener, hartmagnetischer Maßstäbe aus einer Kobaltlegierung für eine lineare Positionssensorik
Martin Theis (Hochschule Kaiserslautern, Germany); Adrian Boecker, Christof Sailer and Rainer Sickart (Sensitec GmbH, Germany); Christian Vetter and Monika Saumer (Hochschule Kaiserslautern, Germany)
A New Approach for In-Line Heat Chuck Temperature Measurement Based on SAW Technology
Martin Lenzhofer (Carinthian Tech Research AG & CTR AG, Austria); Wolfgang Stocksreiter (FH JOANNEUM, Austria); Stefan Szirch (Infineon Technologies Austria AG, Austria)
Prozess- und Zustandsüberwachung von Leichtbaustrukturen durch Sensorintegration
Florian Rost (Fraunhofer ENAS, Germany); Benjamin Arnold (Technische Universität Chemnitz, Germany); Sven Rzepka (Fraunhofer ENAS, Germany)

Mittwoch, 25. Oktober 14:30 - 16:10

5.1: Mikrofluidik II

Raum: Alpsee
Chairs: Karla Hiller (Chemnitz University of Technology, Germany), Stefan Sinzinger (Technische Universität Ilmenau, Germany)
14:30 Optofluidische Küvetten mit integrierten optischen Polymerwellenleitern für Fluidanalyse auf Leiterplatten
Ekaterina Sergeeva (Universität Rostock & VDI/VDE Innovation + Technik GmbH, Germany); Haldor Hartwig (Universität Rostock, Germany); Dennis Hohlfeld (University of Rostock, Germany)
14:50 Fabrication Advances for Microfludic Cryofixation
Marie Fuest (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Giovanni Nocera (Max Planck Institute for Biophysical Chemistry, Germany); Mario M. Modena (Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e. V., Germany); Thomas P Burg (Max Planck Institut für Biophysikalische Chemie, Germany)
15:10 Herstellung von Lipidnanopartikeln in einem ultraschallunterstützten multilaminations Mikromischer
Holger Bolze (Max Planck Institute for Biophysical Chemistry, Germany); Juliane Riewe, Heike Bunjes and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany); Thomas P Burg (Max Planck Institut für Biophysikalische Chemie, Germany)
15:30 Entwicklung eines geregelten Mikrodosiersystems zur kontrollierten Flüssigkeitsdosierung
Johannes Häfner, Anna Bauer, Yining Tian, Sebastian Kibler, Martin Richter and Christoph Kutter (Fraunhofer EMFT, Germany)
15:50 Mikrofluidisches Zellzählmodul zur Detektion von Pathogenen in Flüssigkeiten: automatisiert, integrierbar und robust
Sabine Alebrand, Peter Spang, Knut Welzel, Jörn Wittek, Martin Tracksdorf, Dennis Dethling, Carmen Schwind, Cornelius Oster and Michael Bassler (Fraunhofer ICT-IMM, Germany)

5.2: Materialien und Technologien

Raum: Ammersee 1
Chairs: Andreas Leson (Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS, Germany), Wolfgang Benecke (Fraunhofer ISIT, Germany)
14:30 Herstellung neuartiger Mikrostrukturen für MEMS-Anwendungen durch Pulververfestigung mittels ALD
Steffen Chemnitz (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Tim Reimer and Thomas Lisec (Fraunhofer ISIT, Germany)
14:50 Ultrakurzpuls-Laserprozesse für die Biosensor-Fertigung
Lars Hecht, Korbinian Rager, Gereon Starke and Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany)
15:10 Funktionalisierte 3D-Keramikkomponenten durch Kombination von Mehrlagenkeramik und Keramikspritzguß
Steffen Ziesche, Christian Lenz and Axel Müller-Köhn (Fraunhofer IKTS, Germany)
15:30 Mikrofluidische Galvanik zur Herstellung magnetoresistiver Schichten
Mathias Rechel, Piriya Taptimthong, Matthias Arndt and Marc Christopher Wurz (Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, Germany)
15:50 Selbstjustierendes Wachstum von 3D Nanobrückenverbindungen
Leslie Schlag, Johannes Reiprich, Thomas Stauden, Jörg Pezoldt, Adriana Ispas, Andreas Bund, Peter Schaaf and Heiko Jacobs (Technische Universität Ilmenau, Germany)

5.3: Aufbau- und Verbindungstechnik

Raum: Ammersee 2
Chairs: Norbert Schwesinger (Technische Universität München, Germany), Michael J Vellekoop (Universität Bremen, Germany)
14:30 Neues Materialsystem zum Fügen von Wafern und Bauelementen mit integrierten reaktiven Multilagensystemen
Klaus Vogel, Silvia Hertel and Frank Roscher (Fraunhofer ENAS, Germany); Sven Zimmermann (Technische Universität Chemnitz, Germany); Maik Wiemer (Fraunhofer ENAS, Germany)
14:50 Reaktive Nanoschichten - ein innovatives Fügekonzept für die AVT auf Bauteil- und Waferlevel
Georg Dietrich (Fraunhofer IWS, Germany); Axel Schumacher (Hahn-Schickard, Germany); Jan Freitag (CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, Germany)
15:10 200 mm Siliziumwafer mit vergrabenen 3D-Ätzstoppschichten für flexible Via-Middle TSVs in CMOS/BiCMOS Technologien
Matthias Wietstruck, Steffen Marschmeyer and Thomas Voß (IHP, Germany); Mesut Inac (IHP - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik, Germany & Technische Universität Berlin, Germany); Marco Lisker, Andreas Krüger, D. Wolansky, Philipp Kulse, K. Schulz, Jens Katzer, Alexander Göritz and Andreas Mai (IHP, Germany); Mehmet Kaynak (IHP, Germany & IHP Microelectronics, Turkey)
15:30 Zwei verschiedene Kaverneninnendrücke auf einem MEMS-Wafer durch gestaffeltes Bonden mit modifizierten Germaniumbondrahmen
Marlene Winker (Robert Bosch GmbH & Karlsruhe Institut für Technologie (KIT), Germany); Ralf Hausner (Robert Bosch GmbH, Germany); Andreas Guber (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
15:50 Design und Demonstration eines integrierten photonischen Glasinterposers für Mid-Board-Optical Engines
Marcel Neitz (Technische Universität Berlin, Germany); Markus Woehrmann (Fraunhofer IZM, Germany); Ruiyong Zhang and Mohamed Fikry (FCI Deutschland GmbH, Germany); Sebastian Marx (Technische Universität Berlin, Germany); Henning Schröder (Fraunhofer IZM, Germany)

5.4: Low Power und Energy Harvesting

Raum: Chiemsee
Chairs: Hoc Khiem Trieu (Hamburg University of Technology, Germany), Ulrich M Mescheder (Hochschule Furtwangen, Germany)
14:30 Magnetisch angetriebener Energy-Harvester mit monolithisch integrierten Mikromagneten
Fabian Lofink (Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V., Germany); Victor Tolstrup, Thomas Lisec, Sascha Bohse and Tim Reimer (Fraunhofer ISIT, Germany); André Piorra, Dirk Meyners and Eckhard Quandt (Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Germany); Bernhard Wagner (Fraunhofer ISIT, Germany)
14:50 Hochporöses Platin auf Kohlenstoffnanofasern als neue Anode für die implantierbare Glukosebrennstoffzelle: Nachweis der Funktionalität in Blutserum über 30 Tage
Maxi Frei (Universität Freiburg, Germany); Johannes Erben and Julian Martin (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Roland Zengerle (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany); Sven Kerzenmacher (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
15:10 Integration von Piezoelektrika in Multilayer-Leiterplatten - eine Machbarkeitsstudie
Armin Stogel and Thomas Zeh (Hochschule Kempten, Germany); Frank Goldschmidtboeing (University of Freiburg); Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Till Huesgen (Hochschule Kempten)
15:30 Passiver mechanischer 2-Bit Zähler zur Erfassung und Speicherung von Grenzwertüberschreitungen
Hannes Mehner (X-FAB MEMS Foundry GmbH, Germany); Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany); Philip Schmitt (Technische Universität Ilmenau, Germany)
15:50 Adaptive Linse mit energieeffizienter Treiberelektronik
Thorsten Hehn (Hahn-Schickard, Germany); Moritz Stürmer (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Jürgen Merz (Hahn-Schickard, Germany); Dieter Mintenbeck (Hahn Schickert, Germany); Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany); Yiannos Manoli (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany)

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