Program for Mikrosystemtechnik Kongress 2017
Montag, 23. Oktober
Montag, 23. Oktober 18:00 - 19:30
Eröffnung
Raum: Plenum (Ballhausforum)
Montag, 23. Oktober 19:30 - 22:00
Get-together
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Dienstag, 24. Oktober
Dienstag, 24. Oktober 8:30 - 9:00
Begrüßung
Raum: Plenum (Ballhausforum)
Dienstag, 24. Oktober 9:00 - 9:30
Keynote 1
Raum: Plenum (Ballhausforum)
Dienstag, 24. Oktober 9:30 - 10:00
Keynote 2
Raum: Plenum (Ballhausforum)
Dienstag, 24. Oktober 10:00 - 10:30
Kaffeepause
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Dienstag, 24. Oktober 10:30 - 12:10
1.1: Consumer- und Industrieanwendungen
Raum: Alpsee
Chairs: Volker Saile (KIT, Germany), André Kretschmann (Robert Bosch GmbH, Germany)
- 10:30 Modellierung eines neuartigen Kamm-Mikrofons mit hohem Signal-Rausch-Verhältnis
- 10:50 Passiver Schock-Maximalwertsensor
- 11:10 Messung und Berechnung der Temperaturhysterese von Flip-Chip MEMS-Mikrofonen
- 11:30 Magnetoresistive Sensoren für die nächste Robotergeneration
- 11:50 Miniaturisierte Beleuchtungsoptiken für Mobilgeräte
1.2: MEMS Simulation, Entwurfsmethodik
Raum: Ammersee 1
Chairs: Roland Thewes (Technische Universität Berlin, Germany), Dennis Hohlfeld (University of Rostock, Germany)
- 10:30 Layout vs. Schematic Check für integrierte elektronisch-photonische Schaltkreise in photonischer BiCMOS-Technologie
- 10:50 Multiphysics and Multiscale Simulation for the Design of Microstructured Materials and Miniaturized Active Devices
- 11:10 Effizienter fluidischer Transport mittels mikromechanischer Aktoren: Numerische Herausforderungen beim Entwurf
- 11:30 CFD Berechnung der fluidischen Dämpfung von flexiblen Strukturen basierend auf modaler Projektion
- 11:50 Mikromechanisches 3D-Lorentzkraftmagnetometer mit neuartigem multiaxialem Betriebsprinzip und ultra-low-power Ausleseverfahren
1.3: Industrie 4.0
Raum: Ammersee 2
Chairs: Hubert Steigerwald (Strategische Partnerschaft Sensorik e. V., Germany), Gerald Gerlach (Technische Universität Dresden, Germany)
- 10:30 Digital Twins an der Schnittstelle zwischen Produktion, Produkt und Technologie
- 10:50 Pragmatische Industrie 4.0 Lösungen für die Produktion im Mittelstand - BMBF-Projekt ScaleIT
- 11:10 Interface Guided Innovation - strukturierte Generierung von Innovationen für Industrie 4.0 Anwendungen
- 11:30 Zuverlässigkeitsauslegung eines piezoelektrischen Energy Harvesters
- 11:50 Condition Monitoring binärer Lösungen mit elektrostatischen Mikrosensoren
1.4: Mikro-Nano-Integration
Raum: Chiemsee
Chairs: Martin Hoffmann (Ruhr-Universität Bochum, Germany), Manfred Kohl (Karlsruher Institut für Technologie (KIT), Germany)
- 10:30 A side-wall spacer process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes
- 10:50 Additive Fertigung für Brennstoffzellen und Elektrolyse
- 11:10 3D Optical Microresonators: Laser-Assisted Fabrication and Packaging
- 11:30 MEMS Feldionisation-Gassensor auf Basis von Palladium-Nanostrukturen
- 11:50 Integriert-optische Schaltnetze und Wellenlängenmultiplexer für energieeffiziente Kommunikationsnetze on-Chip
Dienstag, 24. Oktober 12:15 - 13:15
Mittagspause
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Dienstag, 24. Oktober 13:20 - 14:40
2.1: RF-MEMS
Raum: Alpsee
Chairs: Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany), Andreas H. Foitzik (TFH Wildau, Germany)
- 13:20 BiCMOS Embedded RF-MEMS Technologies
- 13:40 Aktive Q-Faktor Regelung von piezoelektrischen MEMS Cantilevern für High Speed AFM Anwendungen in Vakuum
- 14:00 Prozesskontrolle für die Dünnschichtverkapselung von BiCMOS HF-MEMS-Schaltern mittels BEOL-integriertem Pirani-Element
- 14:20 Millimeterwellen-Sensorsystem zur Messung der Sauerstoffkonzentration in Gasen
2.2: Optische MEMS
Raum: Ammersee 1
Chairs: Hubert Lakner (Fraunhofer Institut für Photonische Mikrosysteme, Germany), Jürgen Mohr (Karlsruhe Institute of Technology, Germany)
- 13:20 Waferlevel-Realisierung von Facetten zur Faser-zu-Chip Kopplung für eine photonische BiCMOS-Technologie
- 13:40 Steuerbare Ringblenden für segmentierte Besselstrahlen
- 14:00 Leuchtdiodenchips mit dreidimensional epitaktisch gewachsenen kristallinen GaN Säulen
- 14:20 CMOS Bildsensor mit linearer hochdynamischer Pixelzelle mit Selbst-Reset und Pinned-Photodiode
2.3: Mikroaktorik I
Raum: Ammersee 2
Chairs: Helmut F. Schlaak (Technische Universität Darmstadt, Germany), Ulrich Schmid (Technische Universität Wien, Austria)
- 13:20 Rotationsaktorik für durchstimmbare Mikroprismen durch die thermomechanische Modulation der remanenten Spannung in Aluminiumnitrid Balken
- 13:40 Customized micro mirror array for highly parallel industrial laser direct processing on the micro- and nanoscale
- 14:00 Miniaturisierung von Mikromembranpumpen für die Integration in Mobilfunkgeräte
- 14:20 Neuartiger piezoelektrischer Zwei-Wege-MEMS-Lautsprecher
2.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme I
Raum: Chiemsee
Chairs: Andreas Berns (VDI/VDE Innovation+Technik GmbH, Germany), Anton Grabmaier (University of Duisburg-Essen, Germany)
- 13:20 Sessionüberblick/ Einführung - BMBF Förderung im Themenbereich sensorbasierte Elektroniksysteme für Industrie 4.0
- 13:40 Sichere und interaktive Steuerung von Produktionsanlagen durch vernetzte Umfeldsensoren
- 14:00 Nahfeldlokalisierung von Systemen in Produktionslinien
- 14:20 Intelligente elektrische Steckverbinder und Anschlusstechnologien
Dienstag, 24. Oktober 14:40 - 16:10
P1: Additive Fertigung
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Neue druckbare Polymere für die Mikrooptik
- Bestückung additiv gefertigter Mechatronic Interconnect Devices (MID) mittels Laserlöten
- Entwicklung und Charakterisierung von Ink-Jet gedruckten optischen Streuschichten
- Entwicklung hochgefüllter Filamente für die additive Fertigung von keramischen und metallischen Bauteilen
- Polymer-ceramic-composites for 3D inkjet printing
- Galvanisch aus 3D Fotolack-Strukturen abgeformte metallische 3D-Freiformen
- Projekt RoMulus: Multi-Sensorische Anwendungen zur Zustandsüberwachung in industriellen Anwendungen
P10: Schaltungen
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Magnetoinductive waves for wireless power transfer: challenges and solutions
- ASIC zur Ansteuerung und Signalerfassung eines CMUT
- An integrated electronic circuit for decentralized monitoring of Lithium-ion battery cells
- Ein Aufwärtswandler mit 96,7% Effizienz und einem Ruhestrom von 460 nA für Energy Harvesting Anwendungen
P11: Sensorik für physikalische Größen 1
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Autonomer Temperatur- Zeit- Integrator
- Lokalisierter Transport von Schwebstoffen zu programmierbaren, mikroskopischen Sensorpunkten durch Korona-Entladung
- Design, Herstellung und Charakterisierung von hochpräzisen Beschleunigungssensoren, gefertigt mittels HARMS Technologie und integrierter Elektrodenabstandsverringerung
- Flexibles magnetisches Lese-/Schreibsystem: Einfluss von Wärme auf das Datenbit
- Investigation of boiling phenomena in microchannels using impedance spectroscopy technique correlated with videography
- MEMS-basiertes Schallemissionssensorsystem für die Zustandsüberwachung
- Zuverlässigkeit von Silizium Dehnmessstreifen für Anwendungen bis 300°C
- Hochgenaue kalibrationsfreie Temperaturdioden
- Langzeitstabilität von Flip-Chip-Absolutdrucksensoren mit TSV's
P2: Anwendung Klima & Umwelt
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Multilyzer - Mikrofluidisches Echtzeitmessystem für die Analyse umweltrelevanter Substanzen
- Photoakustische Spurengasanalytik von NO2 im ppt-Bereich (10-12) bei Verwendung kostengünstiger Einzelkomponenten
- Resonance frequency tuning and process design of a micromechanical capacitive cantilever in a photoacoustic trace-gas sensing device
- Relative Humidity Sensors for System-in-Foil Applications
- Miniaturisierter plasmonischer Sensor für das Monitoring von Weichmacher
P3: Anwendung Medizin & Bio
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Entwurf eines thermoelektrischen Generators für elektrisch aktive Implantate
- Dünnfilmverkapselungen für medizinische Anwendungen
- Implantable Wireless Ultra-low Power Data Logger for Temperature Measurements in Animal Brains
- Zuverlässige, langzeitstabile Systeme für die Optogenetik
- Fertigungsstrategien zur funktionserhaltenden und biokompatiblen Integration von IoT-Bauteilen in medizinisch relevante Kunststoffe
- Integriertes System zur simultanen Detektion von Krankenhauskeimen und deren Antibiotikaresistenzen auf Einzelzellebene
- Herstellung von mikrostrukturierten Abutments zur Optimierung von Zahnimplantatsystemen
P4: Aufbau- und Verbindungtechnik 1
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Silizium Einbett-Technologie mittel Wafer Level Packaging für GaN Leistungselektronik-Bauteilen
- Innovatives hermetisches Packaging-Konzept für Laserdioden auf Waferebene
- Bleifreier Lotstapel für fluidische Selbstmontage von Siliziumchips
- Automatisierte Montage von Dehnungsmessstreifen auf nicht ebenen 3D-Flächen
- Verbindungstechnologien zur Herstellung hochpixelierter LED-Lichtquellen
P5: Energy Harvesting und Power Management
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Heterogene Integration einer Miniatur-Solarzelle für autarke Sensoren
- Development and performance analysis of an energy-autonomous VHF-beacon for animal-tracking
- Frequency tunable energy harvester with segmented piezoelectric patches for improved power generation
- Piezoelektrika für Energy-Harvester. Ein Vergleich
- Rotary Capacitor Measurement Setup for Evaluating the Internal Biasing of Electrostatic Energy Harvesters
- Ladezeitverkürzung von Batterien durch Nanostrukturierung der Elektrodenoberflächen
P6: Messtechnik
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Elektro-optische Charakterisierung von Ferninfrarot Bildaufnehmern mittels Bauelementetest in der Serienproduktion
- MEMS-basiertes Tensiometer zur Messung der Oberflächenspannung
- Modellierung des Kontaktverhaltens oszillierender Mikrotastsysteme
- Beiträge zur In-Situ Sensorik für die Inspektion von Kontaktstellen an Leistungshalbleitern
- Entwicklung und Aufbau eines Tribometers zur anwendungsnahen Charakterisierung von Reibschichten für eine Positionssensorik
- Charakterisierung der Zuverlässigkeit in der High-K Metal Gate Technologie
- Multi-window Transmission Electron Microscopy liquid cell to improve imaging performance
- Miniaturroboter für die Rohranalyse
P7: Mikroaktorik 1
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- 3D Micro-machined Inductive Suspensions with the Lowest Energy Consumption
- Mikropfeifen für selbständiges Wohnen im Alter
- Optische Greifkraftsensorik aus SU-8 für Mikrogreifer
- Folienbasierte Mikroaktoren aus Formgedächtnislegierung
- Mikroaktorik für ein Taktiles Display
- Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter
P8: Mikrofluidik 1
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- The LabCard - A new approach for centrifugal assay automation
- Herstellung eines optofluidischen Chips zur hydrodynamischen Immobilisierung und Detektion von Bakterien
- HepaChip-MWP - a novel tool for microfluidic organ-like, continuously perfused liver co-cultures towards application in pre-clinical drug testing
- Automated particle based C-reactive protein immunoassay with on-disk pre-stored reagents and centrifugo-pneumatic liquid control
- Charakterisierung und Manipulation magnetischer Nanofluide im externen Magnetfeld
- Automatisiertes mikrofluidisches System zur Hochdurchsatz DNA-Ligation
P9: Mikro-Nano-Integration 1
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Template-Realized Functional Nanostructures for Energy Conversion and Storage Devices
- Untersuchung von dreidimensionalen Nanoelektroden für die intrazelluläre Kontaktierung auf integrierten Schaltungen
- Integrationstechnik für ZnO-Nanopartikel-Dünnschichttransistoren
- Nanostrukturierte Beugungsgitter für integrierte Metrologie
- Mikromechanische Testplattform zur In-Situ-Charakterisierung nanostrukturierter Funktionsbauteile
- Modellierung axial verspannter CNT-Transistoren für Sensoren
Dienstag, 24. Oktober 16:10 - 17:50
3.1: Medizinische Anwendungen
Raum: Alpsee
Chairs: Helmut Seidel (Universität des Saarlandes, Germany), Thomas Velten (Fraunhofer Institute for Biomedical Engineering, Germany)
- 16:10 Syntheseroboter für die kostengünstige Synthese vieler diagnostischer Peptide
- 16:30 Multiparametrisches telemetrisches Gewebemonitoring - Entwicklung einer Mikrosensorsonde zur kontinuierlichen Überwachung nach mikrochirurgischem Gewebetransfer
- 16:50 Rapid Prototyping mikrofluidischer Chips in Polymethylmethacrylat mittels maskenloser Lithographie
- 17:10 Integration konischer Nanoporen in Lab-on-Chip-Systeme für die Histamin-Analyse
- 17:30 Neuronale Implantate zur Rückkopplung sensorischer Größen verbessern die Mensch-Technik-Interaktion in der Prothetik
3.2: Bio und Chemische Sensorik
Raum: Ammersee 1
Chairs: Andreas Dietzel (Technische Universität Braunschweig, Germany), Peter Hauptmann (University Magdeburg, Germany)
- 16:10 Überwachung der Dichteänderung während der Weinfermentation mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren
- 16:30 Dynamic fluorescence measurements on DNA microarrays in foil-based microfluidics using multichannel Silicon Photomultipliers
- 16:50 Entwicklung eines mikromechanischen kapazitiven Schalldetektors im resonanten Betrieb für die photoakustische Spurengasanalyse
- 17:10 miniaturisierte Laserlichtquelle für Infrarotspektroskopie
- 17:30 Katalytische Silicium-Platin-Nanostrukturen für Niedertemperatur MEMS Wasserstoffsensoren
3.3.: Mikroaktorik II
Raum: Ammersee 2
Chairs: Martin Richter (Fraunhofer EMFT, Germany), Ulrike Wallrabe (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
- 16:10 Piezoelectrically driven and sensed micromirrors with extremely large scan angles and precise closed-loop control
- 16:30 Entwicklung eines bionisch inspirierten, mikro-mechanischen Biegewandlers für effizienten fluidischen Massentransport
- 16:50 Low fluidic resistance valves utilizing buckling actuators
- 17:10 Optimierung der Leistungsfähigkeit von elektrothermischen Polymeraktoren
- 17:30 CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
3.4: Sensorbasierte Elektroniksysteme II
Raum: Chiemsee
Chairs: Lothar Frey (Fraunhofer IISB, Germany), Joachim Burghartz (Institut für Mikroelektronik Stuttgart, Germany)
- 16:10 Mikro-elektromechanisches Elektroniksystem zur Zustandsüberwachung in der Industrie 4.0
- 16:30 Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren zur präzisen Steuerung von Produktionsanlagen
- 16:50 Freiformsensorik für Smart-Items-Infrastrukturen in Produktionsumgebungen
- 17:10 Der multisensorische Werkzeughalter
- 17:30 Produktfähige autarke und sichere Foliensysteme für Automatisierungslösungen in Industrie 4.0
Dienstag, 24. Oktober 19:30 - 22:30
Abendveranstaltung
Raum: Löwenbräukeller
Mittwoch, 25. Oktober
Mittwoch, 25. Oktober 8:45 - 9:00
Begrüßung
Raum: Plenum (Ballhausforum)
Mittwoch, 25. Oktober 9:15 - 9:30
Keynote 1
Raum: Plenum (Ballhausforum)
Mittwoch, 25. Oktober 9:30 - 9:45
Keynote 2
Raum: Plenum (Ballhausforum)
Mittwoch, 25. Oktober 9:45 - 10:20
Preisverleihung
Raum: Plenum (Ballhausforum)
Mittwoch, 25. Oktober 10:20 - 10:50
Kaffeepause
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Mittwoch, 25. Oktober 10:50 - 12:10
4.1: Mikrofluidik I
Raum: Alpsee
Chairs: Roland Zengerle (Hahn-Schickard & University of Freiburg, Germany), Klaus Drese (Coburg University of Applied Sciences and Arts, Germany)
- 10:50 Vertical Nanoslit Arrays for Separating Molecules by Size and Charge
- 11:10 3D-Flow-Focusing-Emulgiersystem für die Kristallisation und Konzentrierung von Nanopartikeln pharmazeutischer Wirkstoffe
- 11:30 Mikroinkubator mit Hydrogelmembranen für die Langzeitkultivierung von Säugetierzellen
- 11:50 EWOD System für optische Schalter
4.2: Sensorik für physikalische Größen
Raum: Ammersee 1
Chairs: Peter Woias (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany), Christina Leinenbach (Robert Bosch GmbH, Germany)
- 10:50 Thermischer Massenflusssensor mit Pt-Dünnschicht-Elementen
- 11:10 Kompakter Wellenlängensensor für Hochgeschwindigkeitsauslese von Faser-Bragg-Gittern
- 11:30 Mikrosensor zur Bestimmung der Lichteinfallsrichtung
- 11:50 Gedünnte kapazitive Silizium-Drucksensoren in flexiblen und dehnbaren extra weichen Substraten für haptische Messungen; Untersuchungen zur Kompensation der Biegeabhängigkeit des Sensor-Output-Signals
4.3: Systemintegration
Raum: Ammersee 2
Chairs: Karin Bauer (Universität des Saarlandes, Germany), Claas Müller (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Germany)
- 10:50 Hybride Systeme in Folie (HySiF) mittels Adaptivem Layout und einem Laserdirektschreiber für die Herstellung von Prototypen
- 11:10 Elektrochemische Pulsstromabscheidung von Kupfer für Si-Durchkontakte in MEMS: Experiment und Simulation
- 11:30 BiCMOS Embedded Microfluidic Technology Based on Wafer Bonding Techniques for Biosensor Applications
- 11:50 Miniaturized Actuators in Cooperative Systems for Separation Control
4.4: Industrie invited
Raum: Chiemsee
Chairs: Margarete Zoberbier (SUSS Micro Tec Lothography GmbH, Germany), Roland Werthschützky (Technische Universität Darmstadt, Germany)
Mittwoch, 25. Oktober 12:10 - 13:00
Mittagessen
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
Mittwoch, 25. Oktober 13:00 - 14:30
P12: Aufbau- und Verbindungtechnik 2
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Kompakte Faserankopplung für einen extrem kleinen Einzelphotonendetektor
- Flying Dies im Fan Out Wafer Level Package
- Herstellung von LED-Beleuchtungsmodulen mittels innovativer Flip-Chip Technologie
- Mikrostrukturelle Veränderungen in Gold-Zinn- und Kupfer-Zinn-Bumps nach Wärmebehandlung bei bis zu 300 °C
- Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten
- Prozess zum Transfer und zur Einbettung von kleinen Dies in ein flexibles Foliensystem bei niedrigen Temperaturen
- Dünnglas-basierter Aufbau von elektrisch-optischen Hybrid-Systemen
P13: Bio und Chemische Sensorik
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Development of an Extended Gate Field Effect Transistor (EGFET) based low-cost pH sensor
- Interdigitaltransducer als Oberflächenwellen-basierter Impedanzsensor
- A Replaceable Bioreactor Array for Monitoring Mold Spore Contamination in Archives
- Mikro-Opto-Elektro-Mechanisches Sensorsystem zur Oberflächenplasmonenresonanzspektroskopie
- In situ Messung der Konzentrationsverteilung von H2, O2, und H2O2 in Mikroreaktoren für die H2O2-Direktsynthese mit miniaturisierten elektrochemischen Sensoren
- „Smart Apple" - Wireless Smart Sensor System
- Label-freie bildgebende Echtzeitdetektion von Molekül-Molekül-Interaktionen auf Mikroarrays
- Portable photoakustische Messeinheit zur NO2 Detektion im Spurengasbereich
P14: Materialien und Technologien
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Fluor-basiertes Plasmatiefenätzen von Zerodur für mikrotechnische Anwendungen
- Galvanische Abscheidung von Aluminium für die Mikrosystem- und Leiterplattentechnik
- 3-dimensionale Mehrlagenkeramik-Module
- High Intensity UV-LED Mask Aligner for Applications in Industrial Research
- High aspect ratio silver nanowires for flexible conductive networks with high optical transparency as electrodes for mechanical actuators
- Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage
- Shrinkage of periodic nanopatterns with tunable feature sizes
- Analyse und Optimierung des ECDM Prozesses von Gläsern
- 3D Strukturierung von Silizium mittels Grauwert-Technologie
- Ultrakurzpulslaserfertigung von Mikroantrieben aus Formgedächtnislegierungen
- Herstellung keramischer Mikroreaktoren im Spritzgussverfahren
- Silicium-Keramik-Verbundsubstrat für einen HF-MEMS Oszillator
- Mikrozerspanung als maskenlose Alternative zu reinraumgebundenen Mikrofertigungsverfahren im Forschungsbetrieb
- MEMS-basierter Elektrospray-Chip zur Materialabscheidung
- Licht geleitete elektrophoretische Abscheidung von BaTiO3
- Fs-Laser induzierte Ätzstrukturen in Foturan für hoch parallelisierte Mikroreaktoren
- Prozessentwicklung für das Mikropulverspritzgießen kurzfaserverstärkter Oxid-Oxid-Komposite
- 2D-Materialien basierende MEMS
P15: Mikroaktorik 2
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Analytische Modellierung von kreisförmigen, bistabilen Membranen mit unterschiedlichen, geometrischen Abmessungen
- Strömungsbeeinflussung durch stehende akustische Wellen und Umsetzung mittels mikrotechnischer Ultraschall-Arrays
- Kapazitive mikromechanische Ultraschallsysteme (CMUT) für die zerstörungsfreie Prüfung und Überwachung
- Modeling Shear Stress and Oxygen Concentration for Optimization of Micropillars Microbioreactors
- Motion analyzer for characterization of micro actuators with movements in 3 degrees of freedom
P16: Mikrofluidik 2
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Sprayganik - Spraytool für organische Elektronik
- Schlauchbasierte Einwegpumpen und -ventile für mikrofluidische Anwendungen
- Low-Cost Fabrikation neuartiger Organ-on-a-Chip Systeme als Alternative zur Softlithografie
- Mikrospritzgusstechnik für die automatisierte Zellseparation
- Fabrikation und Analyse von deterministic lateral displacement (DLD) - Systemen zur Partikelsortierung bei Re > 1
- Fertigung von modularen mikrofluidischen Bioreaktoren zur Synthese von pflanzlichen Sekundärmetaboliten
- Keramische Mikro-Plasmaquelle für die selektive Behandlung von Zellkulturen
- Mikrofluidischer Chip zur in vitro-Diagnostik von Infektionskrankheiten
P17: Mikro-Nano-Integration 2
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Modellierung einer siliziumbasierten Membran für die Brennstoffzellen-Anwendung
- Gewitter im Chip - Resistive Speicher für low-power Anwendungen
- Piezoresistive Eigenschaften p- und n-dotierter polykristalliner Siliziumschichten
- Organische Dünnschichttransistoren für AMOLED-Applikationen
- Integration von „bottom-up"-gewachsenen Silizium-Nanodrähten in Rastersonden für „lab-on-a-tip"-Sensorik
- Thermal Noise in Ideal Micro-machined Levitated Gyroscope
- Optimierung industrieller Mikrosysteme mit Hilfe maßgeschneiderter Modelle: Systemsimulation eines Silizium-Mikrophons
- Innovatives Verfahren zur Herstellung und Integration metallischer Nanokonen für die Feldemission
- Integration of MEMS models in simulations on electronic system level
P18: Optische MEMS
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Robuste adaptive Linsen mit Silikon- und Glasmembranen
- Adaptive Spiegel mit asphärischer Korrektur für Miniatur-Spiegellinsenobjektive mit langer Brennweite
- Integrierte Multispektralsensoren in CMOS-Technologie
- Zweifarbige Optrode basierend auf ungehäusten Laserdioden und hybridpolymeren Wellenleitern für optogenetische Anwendungen
- Miniaturisierte Anregungsquelle für die Fluoreszenzlebensdauermessung
- Extrem miniaturisierter optischer Drehwinkelsensor
- Innovatives nanoskalares Metallschichtsystem trifft wärmesensible Laserdiode oder von der Anwendung einer reaktiven Raum-Temperatur-Verbindungstechnologie am Beispiel einer miniaturisierten optischen Baugruppe
- Integration von SMD-LEDs in elektrisch-optische Leiterplatten für Sensoranwendungen
- Mikrotechnisch hergestellte Strahlteileraufnahme zur Verwendung in einem optischen Gyroskop
- Schmalbandige photonische Kristalle für Multispektral-Analyse
P19: Sensorik für physikalische Größen 2
Raum: Ausstellung (Ballhausforum, Platzl)
- Robuster Vibrationssensor zur Zustandsüberwachung an Schienenfahrzeugen
- Faseroptisches Sensorarray aus PDMS zur Ermittlung lokaler Druckbelastung beim Coiling intrakranieller Aneurysmen
- Einbindung eines 2D-Photodetektors in einen hochintegrierten SPR-Imaging-Sensor
- Entwicklung elektrochemisch abgeschiedener, hartmagnetischer Maßstäbe aus einer Kobaltlegierung für eine lineare Positionssensorik
- A New Approach for In-Line Heat Chuck Temperature Measurement Based on SAW Technology
- Prozess- und Zustandsüberwachung von Leichtbaustrukturen durch Sensorintegration
Mittwoch, 25. Oktober 14:30 - 16:10
5.1: Mikrofluidik II
Raum: Alpsee
Chairs: Karla Hiller (Chemnitz University of Technology, Germany), Stefan Sinzinger (Technische Universität Ilmenau, Germany)
- 14:30 Optofluidische Küvetten mit integrierten optischen Polymerwellenleitern für Fluidanalyse auf Leiterplatten
- 14:50 Fabrication Advances for Microfludic Cryofixation
- 15:10 Herstellung von Lipidnanopartikeln in einem ultraschallunterstützten multilaminations Mikromischer
- 15:30 Entwicklung eines geregelten Mikrodosiersystems zur kontrollierten Flüssigkeitsdosierung
- 15:50 Mikrofluidisches Zellzählmodul zur Detektion von Pathogenen in Flüssigkeiten: automatisiert, integrierbar und robust
5.2: Materialien und Technologien
Raum: Ammersee 1
Chairs: Andreas Leson (Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS, Germany), Wolfgang Benecke (Fraunhofer ISIT, Germany)
- 14:30 Herstellung neuartiger Mikrostrukturen für MEMS-Anwendungen durch Pulververfestigung mittels ALD
- 14:50 Ultrakurzpuls-Laserprozesse für die Biosensor-Fertigung
- 15:10 Funktionalisierte 3D-Keramikkomponenten durch Kombination von Mehrlagenkeramik und Keramikspritzguß
- 15:30 Mikrofluidische Galvanik zur Herstellung magnetoresistiver Schichten
- 15:50 Selbstjustierendes Wachstum von 3D Nanobrückenverbindungen
5.3: Aufbau- und Verbindungstechnik
Raum: Ammersee 2
Chairs: Norbert Schwesinger (Technische Universität München, Germany), Michael J Vellekoop (Universität Bremen, Germany)
- 14:30 Neues Materialsystem zum Fügen von Wafern und Bauelementen mit integrierten reaktiven Multilagensystemen
- 14:50 Reaktive Nanoschichten - ein innovatives Fügekonzept für die AVT auf Bauteil- und Waferlevel
- 15:10 200 mm Siliziumwafer mit vergrabenen 3D-Ätzstoppschichten für flexible Via-Middle TSVs in CMOS/BiCMOS Technologien
- 15:30 Zwei verschiedene Kaverneninnendrücke auf einem MEMS-Wafer durch gestaffeltes Bonden mit modifizierten Germaniumbondrahmen
- 15:50 Design und Demonstration eines integrierten photonischen Glasinterposers für Mid-Board-Optical Engines
5.4: Low Power und Energy Harvesting
Raum: Chiemsee
Chairs: Hoc Khiem Trieu (Hamburg University of Technology, Germany), Ulrich M Mescheder (Hochschule Furtwangen, Germany)
- 14:30 Magnetisch angetriebener Energy-Harvester mit monolithisch integrierten Mikromagneten
- 14:50 Hochporöses Platin auf Kohlenstoffnanofasern als neue Anode für die implantierbare Glukosebrennstoffzelle: Nachweis der Funktionalität in Blutserum über 30 Tage
- 15:10 Integration von Piezoelektrika in Multilayer-Leiterplatten - eine Machbarkeitsstudie
- 15:30 Passiver mechanischer 2-Bit Zähler zur Erfassung und Speicherung von Grenzwertüberschreitungen
- 15:50 Adaptive Linse mit energieeffizienter Treiberelektronik
Program last updated on no date/time given